功率

0~2000W

频率

2.45GHz

真空系统

真空泵

Kashiyama NeoDry60E

真空管路

304不锈钢，高强度真空管路

材质

铝合金

腔体绝缘材质

陶瓷

密封性

耐腐蚀硅胶密封圈

腔体内部尺寸

24升

清洗产品范围

180~250mm×30~80mm（长×宽）平面变形量＜2

料盒尺寸范围

200~270mm×37~97mm×150mm（长×宽×高）

轨道宽度调整方式

手动滚轮调节

流道数量

4条，流片方向左进右出方式

电极板工作面积

340×500mm

气体系统

流量范围

0~300SCCM

工艺气体气路

标配氧气、氩气两路工艺气体(可定制）

控制系统

系统控制

工控机

防呆

夹料监控

可监控30~80mm引线框架

料盒防呆

可监控料盒是否已经放置到位

UPH

UPH

120PC Lead frame

Plasma效果

清洗要求

有效去除物料正反面表面的氧化层

温度要求

连续工作温度不超过200℃

其他参数

外形尺寸

宽1300×长2000×高2064mm（含指示灯高）

重量

1000KG

功率

15KW

设备外观颜色

银灰色