用于分离和检测不同同位素的仪器。即根据带电粒子在电磁场中可以偏转的原理，根据物质原子、分子或分子碎片的质量差异，分离和检测物质组成的一种仪器。质谱仪基于离子源、质量分析仪和离子检测器。离子源是一种在高真空条件下离子化样品分子的装置。电离的分子由于接收到过多的能量而进一步分裂成各种碎片离子和质量较小的中性粒子。它们在加速电场的作用下获得相同能量的平均动能，

　　进入质量分析器。质量分析仪是根据质荷比的m/z大小，将同时进入其中的不同质量的离子分离的设备。分离后的离子依次进入离子检测器，放大后的离子信号经计算机采集、处理，绘制成质谱图。存在各种类型的离子源、质量分析器和离子检测器。质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪;高分辨率、中分辨率和低分辨率质谱仪根据其分辨能力;静态仪器和动态仪器根据其工作原理。用于分离和检测不同同位素的仪器。仪器的主体放置在真空中。材料被汽化并电离成离子束，通过电压加速和聚焦，然后通过磁场和电场。

　　不同质量的离子在磁场和电场的作用下发生不同的偏转，聚焦在不同的位置，从而得到不同同位素的质谱图。质谱方法首先由 J.J. Thomson 在 2009 年，后来被 F.W. Aston 等人改进。现代质谱仪不断改进，仍然使用电磁原理根据荷质比分离离子束。质谱仪的性能指标是它的分辨率。如果质谱仪只能分辨质量 m 和 m+Δm，则分辨率定义为 m/Δm。现代质谱仪的分辨率约为数量级，可以将原子质量测量到小数点后七位。质谱法最重要的应用是同位素的分离以及它们的原子质量和相对丰度的测定。原子质量测定的准确性超过化学测量，三分之二以上原子的**质量是通过质谱测定的。由于质量和能量之间的等价关系，因此可以获得关于核结构和核结合能的知识。对于可以从矿石中提取的放射性衰变产物元素的分析测量，可以确定矿石的地质年龄。质谱方法还可用于有机化学分析，特别是微量杂质的分析，测量分子的分子量，为确定化合物的分子式和分子结构提供可靠依据。

　　由于化合物具有像指纹一样的质谱，质谱仪也广泛用于工业生产。固体火花源质谱：高纯度材料的杂质分析。可用于半导体材料、有色金属、建材部门;气体同位素质谱：用于测定稳定同位素C、H、N、O、S和放射性同位素Rb、Sr、U、Pb、K、Ar，并可用于地质石油、医疗、环保、农业等部门 利用电磁原理，根据不同的质荷比分离离子并测量各种离子的强度，从而确定被测物质的分子量和结构。有机质谱仪主要用于有机化合物的结构鉴定，可以提供化合物的分子量、元素组成、官能团等结构信息。它分为四极质谱仪、离子阱质谱仪、飞行时间质谱仪和磁质谱仪。有机质谱仪发展的一个重要方面是使用各种联用仪器(气相色谱、液相色谱、热分析等)。其基本工作原理是：利用具有分离技术的仪器，作为质谱仪的“采样器”，将有机混合物分离成纯组分进入质谱仪，充分发挥质谱仪的分析能力，提供每个基团提供分子量和分子结构信息。可广泛应用于有机化学、生物学、地球化学、核工业、材料科学、环境科学、医疗卫生、食品化学、石油化工等领域，以及空间技术和工作中的特殊分析。 [编辑本段] 无机质谱仪 无机质谱仪的工作原理与有机质谱仪不同。改变。

　　无机质谱仪主要用于无机元素的痕量分析和同位素分析。分为火花源质谱仪、离子探针质谱仪、激光探针质谱仪、辉光放电质谱仪、电感耦合等离子体质谱仪。火花源质谱仪不仅可以进行固体样品的整体分析，还可以进行表面和逐层分析，甚至液体分析;激光探针质谱仪可以进行表面和深度分析;辉光放电质谱仪具有高分辨率和高灵敏度，分析精度高，适用范围包括元素周期表中的大部分元素，分析速度快，便于固体分析;电感耦合等离子体质谱法，谱线简单易识别，灵敏度和测量精度高。质谱法的特点是检测速度快、结果准确。广泛应用于地质学、矿物学、地球化学、核工业、材料科学、环境科学、医疗卫生、食品化学、石油化工等领域，以及空间技术和工作中的特殊分析。 [编辑本段]同位素质谱仪同位素质谱仪具有测试速度快、结果准确、样品消耗量低(微克级)的特点。可以准确测定元素的同位素比值。

　　广泛用于核科学、地质测年、同位素稀释质谱、同位素示踪分析。 [编辑本段] 离子探针 离子探针使用聚焦的一次离子束作为微探针轰击样品表面，测量发射的原子和分子的二次离子，根据质荷比进行分离磁场中的比率 (m/e)。可以得到材料的微区质谱和离子图像，然后通过分析计算得到元素的定性和定量信息。不同类型的样品在测试前必须进行不同的准备。离子探针具有电子探针和火花型质谱仪的特点。可以检测低于电子探针微量分析检测限的微量元素，研究它们的局部分布和偏析。可用作同位素分析。可以分析非常薄的表面层和表面吸附物，并且可以在表面分析期间进行纵向浓度分析。成像离子探针适用于分析许多不同类型的样品，包括金属样品、半导体器件以及聚合物和玻璃产品等非导电样品。广泛应用于金属、半导体、催化剂、表面、薄膜等领域，以及环境科学、空间科学、生物化学等研究部门。