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碳化硅废液主要是光伏半导体电子行业用于切割硅晶体用的聚乙二醇废液,主要成分除了聚乙二醇外还含有多晶硅、碳化硅的颗粒,以及铜、铁、锌离子,还有在切割过程中产热导致的大分子类色素,由于经多次使用后成分发生变化,无法再上线重新利用。多晶硅、碳化硅、聚乙二醇都是具有经济价值的副产品,之前切割厂均作为废弃物处理,这样不但污染环境,还造成重大经济损失,所以更好地分离多晶硅、碳化硅及回收再生聚乙二醇液体变废为宝,有着重大的社会意义与经济意义。
膜分离技术主要是由微滤(MF)、超滤(UF)、纳滤(NF)与反渗透(RO)等内容组成,而超滤作为膜技术的重要组成部分,已经在各工业领域得到普及推广应用。经离心分离后的碳化硅废液含有的颗粒过于微小,经检测,通常直径在20-200纳米之间,根据物料的特点,我们选用了超滤膜作为分离聚乙二醇废液的主件。超滤膜主要是以无机材料或高分子有机材料,由膜支撑层、过渡层及膜层呈非对称地分布组成,过滤精度范围为截留分子量500—200000之间,其过滤是一种“错流过滤”形式的流体分离过程:原料液在膜面(管孔)内高速流动,在压力驱动下含小分子组分的澄清渗透液沿与之垂直或切线方向向外透过膜,含大分子组分的浓缩液被膜截留,从而使流体达到分离、浓缩、纯化的目的。
与传统分离方法相比,超滤膜技术在液料过滤分离过程中具有以下特点:
膜分离工艺设备技术是以膜超滤器为核心的成套生产线工艺设备技术。根据碳化硅废液的成分特点,结合切割生产线的要求,以及产品质量指标的要求,我们采用了以膜超滤器为核心设备,并在此基础上配套了薄膜蒸发技术,制造的产品具有品质高、能耗低、生产效率高、成本低等特点。