AL-1000-氩离子刻蚀镀膜仪-通透光学仪器（成都）有限公司手机版

详细介绍

产品特点：
1、面积大：0~Ø25毫米、0~Ø50毫米；

2、溅射样品表面膜层更均匀；

3、颗粒度更小（3nm左右）；

4、溅射到样品表面能量低，对样品损伤小；（适用温度敏感性高的样品）

5、可以溅射各种固体靶材（如各种金属、陶瓷、碳等）；

6、控制精度高，实验结果精准可控重复性高；

7、在同一真空腔内，可实现清洗和镀膜，降低污染样品造成的数据偏差；
8、加入特殊气体，可进行反应离子束刻蚀；
9、可实现的功能有：等离子清洗、镀膜等；
10、数字化自动控制系统。