002 GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪 科晶

002 GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪 科晶

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2024-04-27 07:59:11
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沈阳市杰衡科学仪器有限公司

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产品简介

GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪科晶产品简介:GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪可设定程序,并精确控制温度200C-1500C(或者1200C-1700C),可蒸镀直径2"的薄膜样品,样品台可旋转,以获得更均匀的薄膜

详细介绍

GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪 科晶

产品简介:GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪可设定程序,并精确控制温度200ºC-1500ºC(或者1200ºC-1700ºC),可蒸镀直径2"的薄膜样品,样品台可旋转,以获得更均匀的薄膜。可制备各种金属薄膜和有机物薄膜,广泛用于电极的制备和有机物发光LED。
产品型号 GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪
主要特点 1、已通过CE认证。
2、采用石英腔体,易于清洁和样品的放入。
3、样品台可旋转,能够使所制薄膜达到更好的均匀性。
4、采用钨丝作为发热源,温度可达到1700℃,并配有专用的氧化铝舟装载样品(仅1600ºC以下使用,若蒸
  发温度大于1600ºC,样品应直接放在钨丝篮中)。
  
5、热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制。
6、可将设备转换到手动调节状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度可达
2000ºC,可达到对样品镀碳等实验要求。
7、可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜。
8、进气口配有针阀,用于调节进气流量。
技术参数 1、电压:AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相
2、功率:500W,电流为30A
3、真空腔体:石英腔体,直径Ø6"
4、样品台:直径Ø50mm;可旋转,转速5rpm;与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm
5、温度:1700ºC
6、热电偶:S型热偶,工作温度200ºC-1500ºC(可选用B型热偶,工作温度1200ºC-1700ºC)
7、控温精度:±1ºC,数显温度控制器,可设置30段升降温程序
8、钨丝篮:2个
9、真空接口:KF40
10、真空计:数显防腐真空计PCG554,测量范围3.8×10-5-1125torr
11、进气接口:1/4NPS
产品规格 尺寸:440mm×330mm×630mm
可选配件 1、机械泵(带油污过滤器)(真空度<>-2torr,可以蒸发贵金属,如Au、Ag)
2、分子泵(可获得高真空,真空度<>-5torr,蒸发易氧化材料,如Al、Mg、Li等)
3、低真空系统
4、高真空系统
5、等离子清洗机(镀膜前对基片进行清洗,可获得更好的薄膜强度)

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