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一、概述
DZG200工业检测显微镜适用于对工件表面的组织结构与几何形态进行显微观察。采用优良的无限远光学系统与模块化功能设计理念,可以方便升级系统,实现偏光观察、微分干涉观察等功能,导柱升降装置,可以快速调整工作台与物镜之间的距离,适用于不同厚度工件检测。调焦机构采用圆柱滚子导向传动,机构升降平稳。产品适用于精密零件,集成电路,包装材料等产品检测。
二、主要技术参数:
基 座 | 花岗岩立柱,稳定性好,不会随时间温差而变形 |
立柱 | 花岗岩立柱,稳定性好,不会随时间温差而变形 |
光学系统 | 具有谐波分量的无限远光学系统 |
目 镜 | 10X大视野广角目镜,视场数Ф22mm |
无限远平场双覆膜消色差物镜 | 5X/0.12,工作距离8.4mm |
10X/0.25,工作距离9.3mm | |
20X/0.4,工作距离7.2mm | |
50X/0.7,工作距离2.5mm | |
目镜筒 | 正像观察,双目瞳距调节范围:53~75mm,可100%推拉摄影 |
调焦机构 | 手动粗微动同轴调焦, *小微动格值:0.002mm,粗动松紧可调,有效调焦范围0~8mm,轴向平面内的垂直度不大于0.05mm。 |
转换器 | 五孔明场转换器(螺纹规格:M26X0.705) |
工作平台 | 花岗岩平台 |
*大有效移动范围:200mmX100mm | |
纵横向移动垂直度(3+L/200)μm | |
玻璃工作台面与纵横向移动平面的平行度在有效观察范围内不大于3μm(无负载测量) | |
*大承载重量不大于10千克 | |
导轨 | 线型防错位精密导轨 |
丝杆 | 精密光杆 |
光栅尺 | 高精密(镶入式)光栅 |
数据处理器 | 高清视频采集系统 |
数据处理器,可与计算机并行连接,同步光栅信号输出 | |
工作电压:220V 50/60HZ | |
照明装置 | 落射照明采用12V50W卤素灯,亮度及中心位置可调 |
落射照明器内置孔径光阑、视场光阑、滤色片转换装置、微分干涉切换装置,偏光观察装置 | |
透射照明采用高亮度白光LED灯,亮度可调 |