日本MSA 高温炉 硅片加热炉

主要应用。

用于加热大型基材和玻璃的升降机，带盖热板PA-LIF系列，晶圆加热（RP系列），材料表面研究和评估，无机材料热处理，耐热性评估，烘烤等。RP系列有双面加热和石英钟罩的选项，可以用于材料的气体置换。 RP系列也可用于气体置换和材料的加热。

MSA工厂加热知识

各种技术诀窍集中在材料（超级耐热板、热变形对策、钛合金底盘）、加热器设计、绝缘、热辐射等方面。

高性能和多功能性

可提供定制的附加功能，例如用于加热和运输大型板材的升降机功能（垂直板材驱动），以及处理加热过程中板材变形的真空吸盘功能。

安全功能

该控制器配备了安全功能，包括超温监测功能、紧急停止功能、泄漏检测功能和负载断开功能。

温度控制范围：室温至1000℃ 温度分布：±3%或更少（在加热区域内）

尺寸：RP-10080-4（用于4英寸），-6（用于6英寸），-8（用于8英寸）。

选项：石英钟罩、质量流量等，其他定制。

特点

超高温（MAX 1000°C）硅片加热炉 - 平行板式，用于均匀加热 - 气体吹扫功能（惰性气体N2，Ar）。

控制器上标配的数字流量计 50 L/min (设置单位0.1 L/min)

氧气兼容的质量流量型选项 - 两个控制器（用于上、下层热板），具有温度程序功能

石英钟罩（气体吹扫功能）选项