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真空泵是指采用机械设备、物理、化学或物理化学方法从泵送的容器里提取空气以获取真空泵装置或设备。一般来说,真空泵是使用各种方法在封闭空间中改善、产生并维持真空泵装置。
根据真空泵泵工作原理,真空泵基本可以分为两类,即气体捕捉泵和气体搅拌泵。广泛用于冶金、化工、食品、电子涂料等领域。
伴随着真空泵应用的发展,出现了很多类型的真空泵,其泵送速度从每秒零点几升到每秒数万或数百万升不等。伴随着生产与科研领域对真空技术运用压力范围的要求越来越高,为了实现生产与科研全过程的要求,通常需要形成由多台真空泵所组成的真空泵抽气系统软件,共同抽气。由于真空泵运用部门涉及的工作压力范围很广,任何类型的真空泵都不可能适合所有工作压力范围,不同种类的水泵只有针对不同的工作压力以及不同的工作要求采用。为了使用方便和满足各种真空泵工艺的需要,有时也会根据各种真空泵的技术性能将其组合起来,并且以单元形式运用。
常见的真空泵包括干螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋转叶片泵、罗茨泵和扩散泵。这些泵是真空技术在我国国民经济各行业应用中的主泵。近年来随着社会经济持续迅速发展,真空泵相关中下游主要用途保持了持续增长的势头。同时,在真空泵主要用途不断扩大等因素的推动下,我国真空泵领域实现了持续、稳定、快速的发展。