干式真空泵（又称干式机械泵）就是指一种可以从大气压开始泵送汽体，并把泵送汽体直接排放到大气中的机械真空泵。泵腔内没油或其他介质，泵的极限压力与油封真空泵相同或接近。

干式真空泵应用广泛，主要有以下层面：

1）在低压干法刻蚀多晶硅的制取环节中；

2）半导体蚀刻工艺。在这些生产中频繁使用甚至造成腐蚀性物质和耐磨材料颗粒物；

3）在一些产生除半导体工艺以外的颗粒的工艺中，不希望将颗粒物混合到泵油中，但是对于从泵排出的颗粒，一些类别的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、制药工业、食品工业、蒸馏、干燥、消泡、包装等行业，防止有机溶液造成污染，适合应用干式真空泵；

5）用于真空系统的基本全无油清洁，以防止油污染。干式螺杆式真空泵是一种抽气设备，运用一对螺杆在泵壳内进行同步快速反方向自动旋转，以产生抽吸和排气效果。这两个螺丝经过精细均衡，由轴承支持，并安装在泵壳中。螺杆和螺杆之间有一定的间隙，所以当泵运行时，二者之间并没有摩擦，性能稳定，低噪。工作室不用润滑油。因此，干式真空泵能消除含有大量水蒸气和少许灰尘的汽体，具有极限真空度高、功耗低、节能、经久耐用等优点。它是油封/水环/喷射真空泵的更新产品。