迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统(型号: BTF-1200C-R-S-PECVD)
品牌
其他厂商性质
重庆市所在地
重庆开衡科技有限公司
组合推荐相似产品
水热釜、高压水热釜、高压釜、闷罐
高低温循环机
原位红外光谱表征高真空系统
HX-205 200W恒温循环水浴槽
HX105 200W恒温循环浴槽
HX-101 200W恒温循环浴槽
DX-2010 600W低温循环水机
DX-208 600W低温循环机
DX-204 300W 低温循环机
2000W 冷却水循环机
1000W 冷却水循环机
CEL-CR300冷却水循环泵
上一页: 卷对卷石墨烯连续生长设备
产品名称: 迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统(型号: BTF-1200C-R-S-PECVD)
产品详细介绍
主要特点
本款设备可以做金属复合石墨烯材料,是目前Z的金属复合材料制备设备。可以用于动力电池,提升电池内阻和能量密度,有效解决新能源汽车电池的问题。
1.该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;
2.可左右大角度倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间。
3.该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。
技术参数
1、加热系统:
型号
BTF-1200C-R-S-PECVD
显示模式
10"液晶触屏显示
Z高温度
1100℃
升温速率
10℃/S
控温精度
±1℃
加热元件
电阻丝
热电偶
K型
控温方式
10"液晶触屏与工控仪表双重控温,模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。
炉管尺寸
Φ25*800mm (中间部位尺寸Φ50*225)
炉管转速
3~13r/min
倾斜角度
0~35°
加热功率
2KW
2、射频电源
信号频率
13.56 MHz±0.005%
功率输出范围
0W~100W
Z大反射功率
100W
射频输出接口
50 Ω, N-type, female
功率稳定度
≤5W
谐波分量
≤-50dbc
供电电压
单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ
整机效率
>=70%
功率因素
>=90%
冷却方式
强制风冷
3、四路质子流量控制系统
外形尺寸
600x600x650mm
连接头类型
双卡套不锈钢接头
标准量程(N2)
50sccm,50sccm,200sccm,and 500sccm(量程和数量可选)
准确度
±1.5%F.S
线性
±1%F.S
重复精度
±0.2%F.S
响应时间
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围
0.1~0.5 MPa
Z大压力
3MPa
接口
Φ6,1/4''
显示
4位数字显示
工作环境温度
5~45高纯气体
压力真空表
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀
Φ6
内外双抛不锈钢管
4、低真空机组
空气相对湿度
≤85%
工作环境
5℃~40℃
工作电电压
220V±10% 50~60HZ
功率
1KW
抽气速率
10m³/h
实验真空
10-1Pa
工作压力范围
1.01325X105~1.33X10-2Pa
耐压值
0.03MPa
容油量
1.1L
进气口口径
KF25
排气口口径
噪音
50dB
600×600×600mm
连接方式
采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连
配用规管
ZJ-52T电阻规
测量范围
10 5 ~10 -1 Pa
控制方式
5×10 3 ~5×10 -1 Pa
继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载
通讯接口
USB
1000*400*720mm
首页
展台
留言
收藏
联系方式
请选择您要拨打的电话: