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智能PECVD设备是目前型的一款设备，将所有的控制部分集为一体，此款设备是我司在2013年获得的设备。高温真空加热炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。适用范围宽:金属薄膜，陶瓷薄膜等，复合薄膜，连续生长各种薄膜等。增加功能容易，可扩展等离子清洗刻蚀等功能。
1.薄膜沉积速率高：射频辉光技术，大大的提高了薄膜的沉积速率，沉积速率可达10Å/S；
2.大面积均匀性高：采用了的多点射频馈入技术，特殊气路分布和加热技术等，使得薄膜均匀性指标达到8%；
3. 一致性高：用半导体行业的设计理念，使得一次沉积的各基片之间偏差低于2%；
4. 工艺稳定性高：高度稳定的设备保证了工艺的连续和稳定；
5.号：ZL.0 （产品，防伪必究）。
加热系统
| Z高温度 | 1200℃（1 hour) |
| 使用温度 | ≤1100℃ |
| 炉膛有效尺寸 | Φ60*1650mm（炉管直径可根据实际需要定制。） |
| 炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
| 热电偶类型 | K型热电偶 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定， ‚操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序， ƒ可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制。 |
| 加热长度 | 200+200mm |
| 恒温长度 | 200mm |
| 加热原件 | 电阻丝 |
| 供电电源 | 单相，220V，50Hz |
| 额定功率 | 3KW |
PE射频电源
| 信号频率 | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率输出范围 | 500W |
| Z大反射功率 | 500W |
| 射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率稳定度 | ±0.1% |
| 谐波分量 | ≤-50dbc |
| 供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
| 整机效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
四路质子流量控制系统
| 外形尺寸 | 600x600x650mm |
| 连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
| 标准量程（N2) | 50sccm，100sccm、200sccm；500sccm （可根据用户要求定制） |
| 准确度 | ±1.5% |
| 线性 | ±0.5～1.5% |
| 重复精度 | ±0.2% |
| 响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
| 工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
| Z大压力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 显示 | 4位数字显示 |
| 工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
| 压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止阀 | Φ6 |
| 内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
低真空机组VAU-02
| 空气相对湿度 | ≤85% |
| 工作环境 | 5℃～40℃ |
| 工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1千瓦 |
| 抽气速率 | 10m³/h |
| 极限真空 | 5X10-1Pa |
| 工作压力范围 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
| 耐压值 | 0.03MPa |
| 容油量 | 1.1L |
| 进气口口径 | KF25 |
| 排气口口径 | KF25 |
| 噪音 | 50dB |
| 外形尺寸 | 600×600×600mm |
| 连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
| 电阻真空计参数： | |
| 配用规管： | ZJ-52T电阻规， |
| 测量范围： | 10 5 ～10 -1 Pa， |
| 测量路数： | 1路 |
| 控制范围： | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， |
| 控制方式： | 继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载， |
| 电源： | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， |
| 功耗： | 20W |
