详细介绍

商品描述

MFLPECVD408-12是一款PECVD系统的管式炉系统。由真空管式炉、射频电源、供气系统、真空系统组成。温度可以达到1200度，采用30段程序温控仪表，K型热电偶，炉膛为高纯氧化铝陶瓷纤维,此设备可用于生长纳米线或用CVD方法制备各种薄膜。

【产品型号】MFLPECVD408-12

【石英管径】50/60/80/100/120/150mm

【额定温度】1200℃/1400℃/1700℃

【电源电压】AC220V/50Hz

【控温精度】±1℃

一、产品描述

二、产品特点

1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

二、技术参数

设备型号	MFLPECVD408-12
管式炉	控温范围	室温-1200℃
	工作温度	≤1100℃
	加热区长度	400mm
	石英管	直径 80mm，长 1400mm (管径可选 50， 60 ，100)
	控温精度	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	恒温波动	±1℃（测试点为1000℃）
	升温速度	推荐1000度以下≤10℃/min，升温速度≤30℃/min
	降温速度	700℃以上≤10℃/min
	炉表温度	炉体表面温度小于室温+10（测量点为1000℃）
	测温元件	K型热电偶
	控温模式	模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
	电压功率	220V 3KW
供气系统	气路通道	4路
	气路流量控制	质子流量控制器（七星流量计）
	控制精度	±1.5%F.S
	重复精度	±0.2%F.S
	流量范围	1-500 SCCM
	机械压力表	一块机械压力表在面板，和混气灌连接量程：-0.1～0.15 Mpa



真空系统方案一（低真空：机械泵）	电源	220V
	极限真空度	5X10^-1Pa
	抽气速率	2升/每秒
	真空挡板阀	KF25
	型号	VRD-8
	电机功率	0.4KW
真空系统方案二（高真空：机械泵+分子泵机组）	型号	GZK-16-600
	电源	AC100-240 50/60HZ
	功率	1KW
	重量	25KG
	极限压强	*1.010-4Pa**
	进、排气接口	KF40
	冷水机流量	10L/MIN
	真空计	复合真空计
	真空控制精度	± 1%
	真空计测量范围	1.0x10 - 1.0x10-5pa
电源（等离子体发生器）	功率输出范围	0-500W
	功率稳定度	≤±5W
	工作频率	射频：13.56MHZ±0.005%
	匹配方式	自动
	冷却方式	风冷
	噪声	<>







安全	工作环境	RT±5-40℃
	使用保障	开门断电超温报警漏电保护过温保护




	管式炉	一台
出厂清单	真空系统	一套
	供气系统	一套
	射频电源	一套
	高温手套	卡斯顿一双
	炉勾	一把
	气管	一根
	设备说明书	一份
	仪表说明书	一份
	保修卡	一份
选购品	移动炉架	不锈钢
选购品	触摸屏智能仪表	50段编程，可实现与计算机连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。

注：管径可选：50/60/80/100/120/150/200/300 mm ,

温区可以做双温区，三温区等多温区，

请联系客服

设备型号	MFLPECVD408-12
管式炉	控温范围	室温-1200℃
	工作温度	≤1100℃
	加热区长度	400mm
	石英管	直径 80mm，长 1400mm (管径可选 50， 60 ，100)
	控温精度	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	恒温波动	±1℃（测试点为1000℃）
	升温速度	推荐1000度以下≤10℃/min，升温速度≤30℃/min
	降温速度	700℃以上≤10℃/min
	炉表温度	炉体表面温度小于室温+10（测量点为1000℃）
	测温元件	K型热电偶
	控温模式	模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
	电压功率	220V 3KW
供气系统	气路通道	4路
	气路流量控制	质子流量控制器（七星流量计）
	控制精度	±1.5%F.S
	重复精度	±0.2%F.S
	流量范围	1-500 SCCM
	机械压力表	一块机械压力表在面板，和混气灌连接量程：-0.1～0.15 Mpa



真空系统方案一（低真空：机械泵）	电源	220V
	极限真空度	5X10^-1Pa
	抽气速率	2升/每秒
	真空挡板阀	KF25
	型号	VRD-8
	电机功率	0.4KW
真空系统方案二（高真空：机械泵+分子泵机组）	型号	GZK-16-600
	电源	AC100-240 50/60HZ
	功率	1KW
	重量	25KG
	极限压强	*1.010-4Pa**
	进、排气接口	KF40
	冷水机流量	10L/MIN
	真空计	复合真空计
	真空控制精度	± 1%
	真空计测量范围	1.0x10 - 1.0x10-5pa
电源（等离子体发生器）	功率输出范围	0-500W
	功率稳定度	≤±5W
	工作频率	射频：13.56MHZ±0.005%
	匹配方式	自动
	冷却方式	风冷
	噪声	<50dB







安全	工作环境	RT±5-40℃
	使用保障	开门断电超温报警漏电保护过温保护




	管式炉	一台
出厂清单	真空系统	一套
	供气系统	一套
	射频电源	一套
	高温手套	卡斯顿一双
	炉勾	一把
	气管	一根
	设备说明书	一份
	仪表说明书	一份
	保修卡	一份
选购品	移动炉架	不锈钢
选购品	触摸屏智能仪表	50段编程，可实现与计算机连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。

注：管径可选：50/60/80/100/120/150/200/300 mm ,

温区可以做双温区，三温区等多温区，

请联系客服

标配清单：

出厂清单	管式炉	一台
	真空系统	一套
	供气系统	一套
	射频电源	一套
	高温手套	卡斯顿一双
	炉勾	一把
	气管	一根
	设备说明书	一份
	仪表说明书	一份
	保修卡	一份

可选配：

移动炉架	整体不锈钢
7英寸触摸屏仪表	50段编程，大屏幕无纸记录仪，实现对升温曲线的实时记录，并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印

一、售后服务

：一年保修，终身技术支持。（特别提示，耗材部分如加热元件、样品坩埚等不在保修范围内因使用腐蚀性气体造成的损害不在保修范围内）

二、注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa

3.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当

4.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

产品简介

详细介绍

一、产品描述

二、产品特点

二、技术参数