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产品用途:该系列电炉系周期作业,供企业实验室、大专院校、科研院所等单位选用。设备为用户提供具有真空、可控气氛及高温的实验环境,应用在半导体、电子陶瓷产品、纳米技术、碳纤维、高温热解低温沉淀(CVD)、镀膜等新型材料新工艺领域。
一、操作便捷性:
1、1600℃真空管式电炉|气氛管式电炉|管式电炉,气路连接方式采用了快速连接法兰结构。
2、使取放物料过程简化,只需一支卡箍便可完成气路连接,方便操作。
3、取消了复杂的法兰安装过程,减少了炉管因安装造成损坏的可能。
二、结构实用性:
1、炉膛采用优质的多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件采用表面温度1700度的优质硅钼棒。
2、密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。
3、两端气路支架,支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力,杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。
4、*的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉
三、使用安全性:采用了:
1、超温保护功能,当温度超过允许设定值后,自动断电及报警。
2、漏电保护功能,当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。
四、控制智能化:
1、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、模糊控制、自整定功能,并可编制各种升降温程序。真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快
2、国产程序控温系统可编辑50段程序控温,进口程序控温系统可编辑40 段程序控温。
3、电炉内配置有485转换接口,可实现与计算机相互连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。
五、周边拓展性该电炉可配置:
1、真空控制系统。通过各种真空控制系统,可以实现样品在低、中、高真空环境下进行试验。
2、气体流量控制系统。通过浮子或质量流量控制器调节进气量,以满足用户在不同反应气氛或保护气氛条件下的实验要求。
六、设计性:
该设备为产品,具有多项独立自主的知识产权。外观美观,结构合理,使用方便。
技术参数:
产品名称 | 1600℃双/多温区真空气氛管式电炉 | |||
国产程序 | SK-G06163-2 | SK-G08163-2 | SK-G06163-3 | SK-G08163-3 |
温区 | 双温区 | 三温区 | ||
温度 | 1600℃ | |||
加热区长度 | 600mm | 600mm | ||
恒温区长度 | 300mm | 420mm | ||
加热元件 | 硅钼棒 | |||
空炉升温时间 | <40min | |||
额定功率 | 8Kw | 8Kw | 8Kw | |
工作电压 | 380V+中线 | |||
温度控制 | 国产程序控温系统可编辑50段程序控制;进口程序控温系统可编辑40段程序控制(选配); | |||
控温精度 | ±1℃ | |||
刚玉管尺寸 | Φ60/50x1200mm | Φ80/70x1200mm | Φ60/50x1200mm | Φ80/70x1500mm |
炉管材料 | 刚玉管 | |||
温区温差 | 两个温区温差应<400℃ | |||
炉管工作温度 | 1600℃ | |||
配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1400℃≤3℃/min;1400-1600℃≤2℃/min | |||
外形尺寸(深x宽x高) | 530x835x1425mm |
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重量 | 280Kg | 320Kg | 340Kg | |
标准配置 | 气路总成一套(含真空压力表),刚玉管一支,刚玉堵四个,刚玉舟一个,钩子一把,高温手套一副 | |||
真空/气氛总成配套(可选) | 真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统; | |||
气路控制系统:气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统; | ||||
计算机集散控制系统; CVD电炉系统; |