产品介绍

测量结果的准确程度对科研工作者来说是至关重要的。Park推出了准确的NX-10型原子力显微镜。该仪器具备高速的伺服响应能力，高扫描器线性度，低闭环检测器噪声水平，和低系统热漂移量。

准确成像，无交叉耦合误差

XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的闭环扫描器控制

平面偏移度，全扫描范围水平线性误差小于1nm

垂直扫描器全程伸缩线性度由于0.015%

优化了水平扫描器的ring-ring现象，精准的正向sine-scan算法

准确扫描，真正的非接触模式

Z轴伺服带宽超过9kHz，响应速度大于62mm/s

非接触模式下的扫描速度

低探针磨损，保证了长时间高质量扫描

低样品损伤

准确测量，真正的样品形貌

低噪音检测器

正反测量偏离量，小于0.15%

优化的散热部件，降低了系统热偏移

功能强大的隔音罩，舱体内部主动控温

提高用户工作效率

开放式样品空间，样品及探针更换方便

预对准探针安装与同轴光路设计方便激光调整

十秒进针功能，探针高速自动完成进针

24为数字电控箱，3路内置锁相放大器，具备Q-Control和弹性系数校正功能