产品介绍

    Park XE-15具有样品兼容性。其多种样品台设计，为不同尺寸、形状、数量的样品提供了方便可靠的测试环境。解耦合的闭环XY扫描器，消除了弯曲效应误差，提供了的线性度。真正的非接触扫描模式，扩大了适合样品种类，同时延长了探针寿命，降低了使用成本。

多样品载物台设计方便同时测量多个样品

一次连续扫描多个样品

最多支持同时放置16个样品

样品移动范围200mm*200mm

消除了XY方向交叉耦合误差

样品和探针分别由独立的闭环扫描器控制

全扫描范围100um*100um水平线性误差

水平线性误差小于2nm

Z轴扫描范围25um

真正的非接触扫描延长了探针寿命，保证了高分辨率，保护了样品

Z轴伺服速度相比管式扫描器提高了10倍

非接触模式降低了探针磨损，延长了探针寿命

成像分辨率由于同类原子力显微镜

增强了样品兼容性，提高了扫描精度

便利的操作设计

开放式样品空间，样品及探针更换极为方便

预对准探针安装与同轴光路设计方便激光调整

燕尾锁设计方便扫描头拆卸