任氏巨源微波化学气相沉积炉(CVD)

任氏巨源微波化学气相沉积炉(CVD)

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具体成交价以合同协议为准
2023-04-01 10:22:01
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唐山任氏巨源微波仪器有限公司

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产品简介

一、任氏巨源微波化学气相沉积炉(CVD)特点:1.采用纯微波加热、~传统电加热或混合加热方式,可加热包括金属在内的任何材料,2.升温速率快,智能控温,可分段设置,控温精度高,热惯性小

详细介绍

一、任氏巨源微波化学气相沉积炉(CVD)特点:
1. 采用纯微波加热~传统电加热或混合加热方式,可加热包括金属在内的任何材料,
2. 升温速率快,智能控温,可分段设置,控温精度高,热惯性小。此管式炉可同时加热多个温区,且加热区长度可调。
3. 可通各种气氛,抽真空有机械泵、扩散泵和分子泵,可达10-3Pa真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰(铰链结构),耐高温、耐腐蚀;
5、保护管采用耐高温合金管 ,气管采用卡套或VCR接口,安装方便;
6、炉体配有自动冷却风扇,降低温度;
8、真空系统:机械泵 扩散泵和分子泵,真空密度计
9、可通过电脑全程监控和调试;

二、
任氏巨源微波化学气相沉积炉(CVD)参数:
型号/model WBMW-QXCJ4
可加热材料 非易燃易爆的任何材料
微波频率 2.45GHZ±50MHz
加热方式 纯微波加热、传统电加热、混合加热
功率/KW 4 (功率可调)
温度测试元件 微波场专用传感器
控温精度/℃ ±2
加热管材质 石英管 高温合金管 刚玉管
加热温度/℃ 1200℃ 1200℃ 1600℃
管径(外径/内经X长度)/mm ∅45/∅35×1200,可选配,外径∅60mm
加热速度 ≤200 升温速率不限 ≤50
恒温区长度 标配恒温区长度100mm,恒温去长度100mm~1000mm以上可选
温区 可多温区同时加热
气路法兰 不锈钢法兰
质量流量控制 美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器
气柜、气路及各类阀门,可配套计算机自动控制系统及软件
气路数量 2路或3路(或多路)
流量范围 0-1SLM(标准升/分,可选配)氮气标定
精度 ±0.2%F.S
响应时间 ≤1sec
工作压力 进气压力0.05-0.35Mpa(表压力),流量规格≤10SLM
系统连接方式 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪
规格 高真空
系统真空范围 标准大气压~10-3Pa
真空泵 简单机械泵抽真空和不锈钢法兰
10-1Pa真空用高档机械泵及真空计
10-2Pa真空用高档机械泵、扩散泵及真空计
10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计
炉腔尺寸/mm 700X350X530
加热腔(标配) 0.5-3L 2个根据管径、加热区长度、加热温区数量确定
加热腔大小 0.94L,2.12L,3.8L
升温速率(标配) 0~1000℃/min可根据实际任意设定,可编程、分段加热
外型尺寸/mm 1500´750´1560
微波泄漏/ mW/㎝ ≤0.4
提供相关配件 防护手套×1、中文说明书×1
保质期 整机免费保修1年
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