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锥齿轮升降机
是通过转角方式使基板同步升降，并用四点运动串连及六点运动串连和十二点运动串连，使基板高度降低，减少运动上的误差，同时，平面升降更能直接迅速达到效能，节省使用空间，提高产量，品质稳定性更高
而锥齿轮升降平台通过多台升降机同时升降来完成整个平面的升降，与单台升降机相比，负载分散力更加均匀，在运行方面更加平稳。
运动平稳，该部件具有较高的灵敏度，在使用时无抖动、爬行现象，摩擦阻力小，因此可以进行精密的微量进给控制，同时，还能同时传动几个相同的部件或装置，取得较好的同步效果；
使用寿命更长，且接触面硬化和精磨处理，使用时磨损较小，能有效延长使用寿命；
精度更高，传动系统可获得较高的定位及重复定位精度；
