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重庆市所在地
技术参数
名称 | 2000℃温度可控型30KW感应加热炉--SP-50KTC |
视频 |
操作视频 |
感应加热器 | 工作电压:三相AC 380V,50Hz(需60A空气开关)。 输入功率:25KW。 震荡频率:30-80KHz。 循环比:80%。 感应线圈:150mm(OD)×140mm(ID)×65mm(H)。 保护系统:带有自动水压、过热、功率过高保护。 耐火材料:配有多块采用氧化铝制作的耐火材料,用于支撑石墨坩埚,和防止热量辐射。 |
温度控制器&热电偶 | 工作电压:AC 208~240V,单相。 采用PID方式控温 ,可设置30段升降温程序 设备带有过热和断偶保护功能。 控温精度±3℃。 采用C型热电偶,探头伸入石墨坩埚内。 长期使用温度:1900℃ 工作温度: 2000℃。(<5小时) 升温速率: 10℃/second(1000℃-1200℃)。 8℃/second(1200℃~1500℃)。 3℃~6℃/second (1500℃~2000℃)。 |
石墨坩埚和耐火砖 | 高纯石墨坩埚: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height 。 容量:样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2。 可选:为对晶片热处理,可定制石墨样品台,至多可放置晶片尺寸为1.5'' O.D x 1/8'' T,因为石墨导热率非常高,所以可使放置的晶片受热均匀。 保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料,从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡,总厚度为32mm,石墨保温毯(可耐温2200℃)氧化铝毯(耐温1700℃)。 |
密封法兰&石英管 | 顶部法兰: 采用不锈钢折叠式法兰,带有一1/4"的铠装接口(可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度)法兰上安装有不锈钢截止阀。 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接。 石英管尺寸:130mm(OD) x 122mm(ID) x 360mm(L)。 仪器中配有KF25挡板阀和KF25*1000mm的波纹管,以便与真空泵相连接。 |
防腐型真空计 | 当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,量程可到3.8x10E-5 torr |
循环水冷机 | 温度范围: 5 - 30℃ 水流速: 16L/min 水箱容积: 12 Liters 采用不锈钢制作 水压≥0.1MPa,流量≥5L/Min 注: 本公司建议使用专用的冷却液作为冷却介质 |
真空泵 | 仪器中配有一2L/S的双极旋片机械泵,使管内的真空度达到10e-2 torr。 工作电压AC 208-240V, 单相。 |
移动炉架 | 结构: 钢框架结构。 800mm×600mm的移动炉架可方便移动电感应加热器和带有法兰的石英管。 |
注意 | 为了保护石墨坩埚和C型热电偶,要不断通入惰性气体。 此设备可改为RTP(快速热处理炉)和混合物理化学气相沉积(HPCVD)系统,请点击下面的图片查看,如您有任何特殊需求可联系我们。 |
产品尺寸 | 感应加热器:520mm x 520mm x 450mm 水冷机组: 460mm x 475mm x 762mm 移动炉架: 600mm(L) x 800mm(W) x 597mm(H) |
质保期 | 一年保质期,终生维护(产品相关耗品不在保修范围内) |
净重 | 120kg |