名称

2000℃温度可控型30KW感应加热炉--SP-50KTC

视频

操作视频

感应加热器

工作电压：三相AC 380V，50Hz（需60A空气开关）。

输入功率：25KW。

震荡频率：30-80KHz。

循环比：80%。

感应线圈：150mm(OD)×140mm（ID）×65mm（H）。

保护系统：带有自动水压、过热、功率过高保护。

耐火材料：配有多块采用氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，和防止热量辐射。

温度控制器&热电偶

工作电压：AC 208~240V,单相。

采用PID方式控温 ，可设置30段升降温程序

设备带有过热和断偶保护功能。

控温精度±3℃。

采用C型热电偶，探头伸入石墨坩埚内。

长期使用温度：1900℃

工作温度: 2000℃。（<5小时）

升温速率：

10℃/second(1000℃-1200℃)。

8℃/second(1200℃~1500℃)。

3℃~6℃/second (1500℃~2000℃)。

石墨坩埚和耐火砖

高纯石墨坩埚: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height 。

容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2。

可选:为对晶片热处理，可定制石墨样品台，至多可放置晶片尺寸为1.5'' O.D x 1/8'' T，因为石墨导热率非常高，所以可使放置的晶片受热均匀。

保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃）。

密封法兰&石英管

顶部法兰: 采用不锈钢折叠式法兰，带有一1/4＂的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀。

底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接。

石英管尺寸：130mm(OD) x 122mm(ID) x 360mm(L)。

仪器中配有KF25挡板阀和KF25*1000mm的波纹管，以便与真空泵相连接。

防腐型真空计

当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换，量程可到3.8x10E^-5 torr

循环水冷机

温度范围: 5 - 30℃

水流速： 16L/min

水箱容积: 12 Liters 采用不锈钢制作

水压≥0.1MPa，流量≥5L/Min

注: 本公司建议使用专用的冷却液作为冷却介质

真空泵

仪器中配有一2L/S的双极旋片机械泵，使管内的真空度达到10e-2 torr。

工作电压AC 208-240V, 单相。

移动炉架

结构: 钢框架结构。

800mm×600mm的移动炉架可方便移动电感应加热器和带有法兰的石英管。

注意

为了保护石墨坩埚和C型热电偶，要不断通入惰性气体。

此设备可改为RTP（快速热处理炉）和混合物理化学气相沉积（HPCVD）系统，请点击下面的图片查看，如您有任何特殊需求可联系我们。

产品尺寸

感应加热器:520mm x 520mm x 450mm

水冷机组: 460mm x 475mm x 762mm

移动炉架： 600mm(L) x 800mm(W) x 597mm(H)

质保期

一年保质期，终生维护（产品相关耗品不在保修范围内）

净重

120kg