名称

1200℃5英寸三温区旋转CVD管式炉--OTF-1200X-5L-R-CVD

炉体结构

采用双层壳体结构，并带有风冷系统。

高纯氧化铝纤维材料作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）。

一个直流电机驱动炉管转动，转速可调。

炉体开启式设计，方便更换炉管。

炉体可以倾斜，倾斜角度可调。

设有开门断电功能，提高实验安全性。

基本参数

温度：1100℃（1200℃<1h）。

建议升温速率：≤10℃/min。

热偶：K型热偶

电源：AC 208-240V，50Hz 。

功率：4KW

加热区长度：600mm，三温区：150mm+300mm+150mm。

炉管尺寸

异型石英管，内部焊接有扬料板，使粉体烧结更加充分和均匀。

尺寸：100 O.D×1200 L mm（异型管）

加热元件

掺钼铁铬铝（表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

温控系统

两个温区分别有两个独立的温控系统控制。

包含一款YD518型温度控制器。

PID自动控温系统。

智能化30段可编程控制。

控温精度：±1℃。

默认DB9 PC通信连接端口。

通过MET认证

可选购电脑温度控制软件（用于YD518P系列控制器）用于控制升温曲线和导出数据。

炉体倾斜角度

可调范围：-5°—25°

气密配件

采用磁流体法兰密封

进气系统

四通道精密气体混合和输送系统，配有触摸屏，用于1-4种气体CVD

注意：如果通入的是易燃易爆性气体，必须将设备安装在通风柜中。

外形尺寸

设备尺寸：1950 L×600 W×1320 H mm

混气系统：600 L×750 W×700 H mm

净重

回转炉：约130Kg

使用提示

此套设备可以配合本公司连续送料装置来达到连续进料的效果。

在收集粉末时需要在密封容器中传送的情况下，可以在我公司购买与炉管一起安装的密封装置。这种装置包括带内螺纹法兰、柔性波纹管、直角管、带有蝶形阀的容器和支撑架。客户可以很简单的将带有蝶阀的收集罐与设备断开链接，并在运输过程保持密封（图三）

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1、耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围。

真空系统

通过机械泵可达到10E-2torr。

通过分析泵泵可达到10E-5torr

可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染。

国家

名称：一种可倾斜式回转炉。

编号：ZL-2011-2-0162234.8

质量认证

所有电器元件（>24V）都通过UL/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa。

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司购买减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa使用时会更加精确安全。

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态。炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

石英管的长时间使用温度<1100℃。

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热的实验，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

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