石墨合成炉由燃烧器、炉筒、冷却装置及安全防爆装置构成。燃烧器位于设备下部，由氯气、氢气输入管和灯头等组成。灯头为一同心套管，内管通氯气，内外管间隙通氢气。灯头有长焰式及短焰式两种结构型式。长焰式火焰瘦长，炉筒受热较少，因而温度低、寿命长，生产能力的调节范围也较大，为常用型式。短焰式火焰离筒壁较近，容易烧坏筒壁，但原料气混合均匀，合成反应较。灯头材质可为石英、石墨材料或高铝陶瓷等，以石墨材料为较佳。炉筒一般用微透性石墨材料制作。冷却装置有喷淋式和水夹套式两种型式。喷淋式冷却水沿炉顶布水器周边淋下，冷却效果较好。水夹套式又称浸没式，冷却水在炉筒外水夹套中循环，操作时无喷淋式存在的水雾、潮湿等缺陷，而且更安全可靠。安装防爆装置常用的是石墨防爆膜。

由钢壳与石墨炉盖、合成筒和炉底组成，与钢合成炉相比有以下特点：
1、使用寿命长(一般在13年以上)
2、产品纯度高
3、可简化生产流程
4、生产能力大（同体积相比）
5、劳动条件好，控制、管理方便