◆性能特点：
家实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜。

家采用三轴独立闭环压电平移式扫描台，实现大范围高精度扫描。

三轴独立式扫描，XYZ互不影响，非常适合三维材料及形貌检测。

电动控制样品移动台和升降台，可任意编程多点位置实现快速自动化检测。

龙门架式扫描头设计，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式载物台。
马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品。
高倍辅助光学显微定位，实时观测与定位探针以及样品扫描区域。

闭环压电扫描台无需非线性校正，纳米表征和测量精度优于99.5%。

 ◆测量范围及应用：

测量范围：二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

应用：纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。

◆ 应用案例 Application Case