单频紫外激光器 IXION-193 SLM-先锋科技（香港）股份有限公司手机版

产品简介

单频紫外激光器 IXION-193 SLM是单频二管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换限。中心波长以0.01nm的度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，度可达1pm以保证对激光器调谐的Z大控制。

详细介绍

单频紫外激光器 IXION-193 SLM是单频二管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换限。中心波长以0.01nm的度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，度可达1pm以保证对激光器调谐的zui大控制。

单频紫外激光器 IXION-193 SLM典型参数

型号	IXION-193 SLM
波长	193.368 nm
平均功率	>10 mW
脉宽	< 10 ns
脉冲能量	>1.6 µJ
重复频率	6 kHz
M²因子	< 1.6
线宽	<120MHz;0.015pm; 0.004cm^-1
调谐范围	>80GHz; 10pm;2.6cm^-1
相干长度	>1 m

单频紫外激光器 IXION-193 SLM特点
· 工业级的频率转换，密封封装
· 插槽安装激光二管泵浦
· 优异的TEM₀₀光束形貌
· 脉冲到脉冲之间波动小
· 免维护与热电温控管理
· LabVIEW驱动
· 内置光谱仪用于波长实时控制

单频紫外激光器 IXION-193 SLM应用
· 193 nm波长计量
· 光谱仪校准
· 干涉测量
· 的种子注入
单频紫外激光器 IXION-193 SLM
光谱带宽

脉冲宽度

长时间功率稳定性

光束质量