Park XE7原子力显微镜技术参数：

XY扫描器：

• 闭环控制式单模块柔性XY扫描器。
• 扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选  100 μm×100 μm, 10 μm×10 μm )

Z扫描器：

• 柔性引导高力度扫描器
• 扫描范围: 12 μm (可选 25 μm)

样品台：

•  XY台工作范围: 13 × 13 mm
•  Z台工作范围: 29.5 mm
•  聚焦台工作范围: 70 mm

光学系统：

• 可观察样品和探针的直视同轴光学系统
• 10X 物镜 (可选20X）
• 视场: 480 × 360 μm 
• CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

Park XE7原子力显微镜电路系统：

•  高性能DSP : 600 MHz with 4800 MIPS
•  大图像尺寸: 4096 x 4096像素, 16个数据图像
•  信号输入： 在500kHz取样时, 16位ADC的20个通道
•  信号输出： 在500kHz取样时, 16位ADC的21个通道
•  同步信号 ：图像结束, 线结束及像素结束TTL信号
•  主动Q控制(选配)
•  悬臂梁弹性常数校准(选配)                           
•  CE Compliant
•  电源 : 120 W
•  信号处理模块 (选配)