Park NX10原子力显微镜产品特点：
准确成像, 无交叉耦合现象
XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动
Z低的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米
垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%
优化的水平扫描器ringing现象, 科学的正向sine-scan算法
Park NX10原子力显微镜配置：
XY扫描器：
- 闭环控制式单模块柔性XY扫描器。
- 扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)
- 分辨率: 0.05 nm
- 定位检测噪音: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)
- 水平线性: < ２nm (over 40 μm scan)
Z扫描器：
- 柔性引导高力度扫描器
- 扫描范围: 15 μm (可选 30 μm)
- 分辨率: 0.015 nm
- 定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)
- 共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)
- 表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)
光学系统：
- 可观察样品和探针的直视同轴光学系统
- 视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)
- CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
物镜：
- 10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率)
- 20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm 分辨率)
信号处理：
- ADC: 18个通道
- 4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS)
- X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCs
- DAC: 12 信道
- 2个高速 DAC 通道 (50 MSPS)
- X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs
- 数据大小: 4096 x 4096 像素
集成功能：
- 3个通道数字锁相放大器
- 热噪声法标定弹性系数
- 数码Q控制
外部信号介入：
- 20个嵌入式信号输入/输出端口
- 5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias
