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产品介绍:
名 称:高精密匀胶机
型 号:SC100-SE
原产地:美国,USA
应 用:SC100-SE标准型精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
产品概述:
SC100-SE标准型精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中的zui大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和*的可重复性。
性能参数:
l 主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
l 旋涂程序:zui多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒
l 转动速度:0-10,000rpm(更高速可选)
l 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)
l 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm
l 转速调节精度<1rpm
l 重复性< 1rpm
l 工艺时间设定: 0-3,000 sec/step
l 时间设置精度:0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圆晶)
l 旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
产品特点:
l 的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。
l 7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。
l on ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
l 标准配置转速10000rpm,并可根据用户需要进行定制。
l 采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
l 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,*生锈,便于清洗。
l 排风和抽气系统位计于载片台之底部(以利于排风效率和匀胶均一性)。
l 透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。
产品外型尺寸:
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构