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英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称:旋涂仪、旋涂机、甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。
KW系列匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配无油真空泵一起使用。
全腔室采用聚四氟 PTFE 高分子腔室材料,耐酸碱、防腐蚀,带弧 度腔底方便胶导出;
· 具有腔室内废气抽、排功能;
· 正、反转旋涂方向可自由切换;
· 速度上升曲线实时显示;
· 具有电机进胶报警及保护功能;
· 具有基片吸附力不足报警及互锁功能;
· 带 USB,RS485,蓝牙通信功能,配套 KW 系列匀胶机 PC 端控制软件。
性能参数
· 8 寸触摸屏、BAMBOO 触控笔,图形化界面操作方便;
· 匀胶机功率 650W,匀胶均匀性±1%,机械泵功率 350W,抽速≥60L/MIN;
· 转速范围:1-12000RPM,转速分辨率:1RPM,转速稳定度:±0.1%;
· 加减速度可调范围:1-10000 RPM/S;
· 可设置 N 组 15 段转速程序,存储 N 组数据,每段时间 N(N 任意)。
· 宽电压适用: 100-250VAC 单相电输入;
· 外型尺寸:340mm(W)×500mm(D)×250mm(H);
· 产品质量:匀胶机 18 KG,机械泵 9KG。
· 适用基片:Φ5-Φ200mm 圆片及方片