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面议 型号 | PR200 | PR300 | PR301 | |
模式 | DP模式,桶型 | |||
控制部 | 高频输出 | Max300W | ||
频率 | 13.56MHz | |||
同调方式 | 手动2轴同调方式 | |||
反应部 | 反应腔 | 耐热玻璃 Φ100×160mm | 超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室 | 耐热玻璃 Φ118×160mm |
反应气体 | 1系统(氧气)流量计 | |||
控制 | 手动密闭阀 | 自动减压、自动密闭阀 | ||
配管材质 | 不锈钢、特氟龙、铜、铜合金 | 不锈钢、特氟龙 | ||
外形尺寸 | W350×D400×H500mm | W438×D520×H556mm | W438×D520×H630mm | |
重量 | 约10kg | 约36kg | 约34kg | |
电源 | AC100V 15A | AC100V 7A |