洁净厌氧高温气氛炉 C1-008-柜谷科技发展（上海）有限公司手机版

详细介绍

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化

特点
•工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。
•程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。
•快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
•配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
•全不锈钢材质。
•在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

技术规格

型号	洁净厌氧高温气氛炉 C1-008
温度范围	室温+30～360℃	室温+50～500℃
温度分布精度	±4.0℃（at 360℃）	±8.0℃（a500℃）
温度上升时间	60min（室温→360℃）	90min（室温→500℃）
温度下降时间	90min（360℃→50℃）	120min（500℃→50℃）
氧浓度	20ppm以下
氧浓度下降时间	约45分钟
洁净度	100级
装备	氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸	W600×D600×H600mm
电源	3相 AC380V

产品简介

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