等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS-柜谷科技发展（上海）有限公司手机版

详细介绍

13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。

用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除

内槽

规格

型号	V1000	V1000X	V1000XS
等离子模式	DP/RIE
高频电源	13.56MHz
输出功率	Max1000W	Max1000 & 1500W
有效电极尺寸	W280×D280mm	W300×D300mm	W400×D375mm
电极	平行平板	2段电极（独立）	平板（多目的）
反应气体	聚合控制器2系统（填充气路另行安装）
真空泵（标配）	约1000L/min	约1500L/min	1000 & 1500L/min
安全装置	门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等

管路连接图

产品简介

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