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FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。
FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。
FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。
风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
FFU具有特点:
*:灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
第二:可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:负压通风。这是FFU的*特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
第五:减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。
FFU组合的关键性能参数:
模数尺寸(ceiling modular size):安装吊顶龙骨中心线的间距,FFU常用的标准模数尺寸为1200X600(4’X2’),1200X900(4’X3’),1200X1200(4’X4’)。
实际尺寸(actual size):厦门大吉利的FFU过滤器的实际尺寸=模数尺寸-(龙骨断面宽度-25mm),风机模块的实际尺寸比过滤器稍大4mm。比如说常用的吊顶龙骨端面宽度为55mm,模数尺寸为1200,900,600所对应的FFU过滤器实际尺寸为1170,870,570,风机模块的实际尺寸为1174,874,574。
机外余压(ESP):在某一设定风速下,风机模块的总静压(TSP)扣除HEPA/ULPA过滤器的阻力,即为机外余压(ESP),单位是Pa。ESP是指FFU整机能克服洁净室循环风阻力的能力,无论是标注FFU机外余压或风机模块的总静压TSP,都必需指名送风风速或风量,否则没有意义。
输入能耗(input power consumption):FFU正常运转时输入电压和输入电流的乘积,单位是W。显然,FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,输入能耗不同。因此,如果不指明运行工况点,输入能耗值没有意义。
单体噪音(noise level):根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时在距离出风面中心正下方1.2mm处的噪音值,单位是dB(A)。FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,噪音不同。因此,如果不指明运行工况点,噪音值没有意义。
微振(micro vibration):根据标准IES-RP-CC002,FFU在*大运转工况点时的振动幅度和振动速率,单位分别是mm和mm/s。
送风均匀度(air uniformity):根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时,在距离出风面上方150mm(6”)的水平面上测量逐点的风速,得出平均风速值。平均风速与*大风速和*小风速的偏差比即为送风均匀度,单位为+/-%。标准IES-RP-CC002中要求FFU的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。
过滤器效率等级(filter grade):依据欧洲标准EN1822,过滤器等级从H10-H14,U15-U17。或依据美国标准MIL-282(HEPA),对于0.3um的效率值;依据美国标准IES-RP-CC007.1,对于0.12um的效率值。
一体式结构图: | 分体式结构图: |
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厦门大吉利的FFU的风机模块具有如下特点:
性能可靠:采用国内出口品牌的内转子马达及直驱离心叶片和电气元器件。
型号齐全:根据马达有交流(AC)和无刷直流(EC);根据输出静压有标准型和高静压型;根据模数尺寸有1200X600,1200X900,1200X1200,1500X750;根据箱体材质有锌铝涂层钢板(标准型)、不锈钢型、铝板。
优异的出风均匀度:达到并优于国际标准IES-RP-CC-002中的+/-20%的要求。
低噪音:科学的马达风机选型和转速设计、*的导流和消音材料的应用、合理的箱体尺寸设计,使厦门大吉利FFU的噪音水平低于同类产品。
低微振:总振动速率均小于1mm/s,振幅不超过4um低能耗和低散热量,的风机品质和动平衡设计,以及箱体本身的零压损,使厦门大吉利FFU在同样的输出工况时运行能耗和散热量低于同类产品。
灵活的控制方式:AC型可采用单立调速器或分组变压式调速器,并兼有报警指示功能。
主要技术参数:
型号 | DJL-FFU-2×2 | DJL-FFU-2×3 | DJL-FFU-2×4 | DJL-FFU-3×4 | DJL-FFU-3×4 | DJL-FFU-4×4 |
外型尺寸(mm)(WXDXH) | 575×575×320 | 575×875×320 | 575×1175×320 | 875×875×320 | 875×1175×320 | 1175×1175×320 |
面风速 | 0.45±20% | |||||
噪音dB(A)(风速0.45m/s, 距出风面0.5m) | 48 | 48 | 48 | 48 | 52 | 52 |
HEPA过滤效率 | ≥99.99%@0.3um | |||||
HEPA规格 | 570×870×90 | 570×870×90 | 570×870×90 | 570×870×90 | 870×1170×90 | 870×1170×90 |
电源 | AC单相,220V/50Hz | |||||
功耗(W)(风速0.45m/s) | 120 | 125 | 140 | 180 | 240 | 280 |
机外余压(Pa) | 50~130 | |||||
振动 | ≤4um | |||||
箱体材质 | 镀铝锌板/不锈钢/铝板/冷板 |
注:本公司产品不断改进,其中一些性能参数可能会进行修改,恕不另行通知
FFU集中监控系统
FFU作为一种净化设备,目前在各种洁净工程中得到广泛应用。FFU集中监控系统则是把几十、几百乃至上千个FFU通过FFU监控主机将其联接起来并进行监控,并可以上传至电脑中,由电脑系统方便地实现风机分区启停、故障报警、历史记录等功能。当计算机关机时,监控主机可以独立进行24小时监控。
由于本系统针对FFU功率小但台数多场合,故采用计算机集中监控以方便操作,系统包括以下四部分内容:
·一拖二智能单元(采用电容、变压器调压式或电机抽头式调速)
·32路集线器
·FFU控制主机
·计算机集中监控系统
·低压控制柜
控制系统图如下图: | 系统特点: 控制系统还能够实现如下功能: ·交流调压方式控制系统能够保证正常使用条件下长时间*连续运行; ·整套控制系统布局合理、接线简单; ·在满足洁净要求的前提下,可根据实际情况设定风速转速,*大限度降低风机功耗,达到节能目的; ·对风机转速进行工作/值班控制,在非工作时间内,自动降低风机转速维持室内洁净要求,达到节能目的。 |