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硅钼棒具有高抗氧化性，在高温气氛下，原件的表面生成一层致密的石英SIO2保护层以防止MOSI2继续氧化。元件在氧化气氛下在继续使用时，SIO2保护层重新生成 。
在高温氧化性气氛下使用时，表面生成一层光亮致密的石英(SiO2)玻璃膜，能够保护硅钼棒内层不再氧化，硅钼棒元件具有高温抗氧化性。
在氧化气氛下、使用温度约为1700℃，MoSi2的电阻率随着温度升高而迅速增加。在正常情况下元件电阻不随使用时间的长短而发生变化，因此，新旧硅钼棒电热元件可以混合使用。
根据加热设备装置的结构、工作气氛和温度，对电热元件的表面负荷进行正确地选择，是硅钼棒电热元件的使用寿命的关键。
