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微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备，该设备在常规产品上进行了一系列的改进，包括：供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。
产品特点
技术参数
| 项目 | 型号 | TFC - 1200 - 60 -Ⅰ- 440 |
| 炉管尺寸 | Φ60*1000mm （Φ30/50/80/100mm可选） | |
| 可达温度 | 1200℃（短期） | |
| 工作温度 | 1100℃ | |
| 推荐升温速率 | ≤10℃/min | |
| 加热区长度 | 440mm | |
| 额定功率 | 3kW | |
| 适配电源 | AC220V 50Hz | |
| 温控系统 | K型热电偶 集成式触摸屏控制 | |
| 控温精度 | ±1 ℃ | |
| 密封系统 | 炉管两端配有快开式密封法兰 | |
| 外形尺寸 | 620*420*580mm | |
| 气体量程 | 100～1000SCCM | |
| 气路数量 | 2～4路（MFC） | |
| 气路工作温度 | 5～45℃ | |
| VRD-8 | 承载量：1000Lbs；抽气速率:10m³/h 极限真空度：10-1Pa | |
| 真空度 | ||
