zonglen半导体工艺Chiller

ZCC209为压缩机式冷水机，采用品牌压缩机，性能稳定且优异，出水口控温精度可达0.1℃，可选配组件实现多路输出，带多路负载，适用于温湿度控制良好的环境，节能环保，操作简单，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能 ， 远 程 控 制 方 便 ， 可 以 实 现I/O、RS232、RS485等多。

zonglen半导体工艺Chiller

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

chiller冷水机作为一种高效、节能、环保、可靠的制冷设备

zonglen半导体工艺Chiller

温度范围：-20°C~+90°C

控温精度：±0.1℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小