旋转工作台

旋转精度(JIS B 7451-1997)

径向

(0.02+3.5H/10000)μm H: 为测量高度 (mm)

轴向

(0.02+3.5X/10000)μm X: 到旋转工作台轴的距离 (mm)

旋转速度

2, 4, 6, 10rpm (自动定心: 20rpm)

工作台有效直径

Φ300mm

调心范围

±5mm

调水平范围

±1°

台面承重

小于80kg (自动定心: 65kg)

测量直径

小于Φ400mm

工件直径

小于Φ680mm

垂直移动

移动直线度(λc2.5)

窄范围

0.05μm/100mm

宽范围

0.14μm/350mm

0.2μm/550mm

与转台轴平行度(母线要素基准)

0.2μm/350mm

0.32μm/550mm

水平移动(从工作台上部)

350mm

550mm

定位速度

小于60mm/s (测量时: 0.5, 1, 2, 5mm/s)

检测高度

350mm

550mm

检测深度 (使用标准测头)

Φ32×85mm (深度)

Φ7×50mm (深度)

X轴

直线度 (λc2.5)

0.4μm/200mm

与转台轴垂直度 (母线要素基准)

0.5μm/200mm

移动范围

225mm (–25mm ~ +200mm 从旋转中心)

定位速度

小于50mm/s (测量时: 0.5, 1, 2, 5mm/s)

检出器

测力

约 10 - 50mN, 1 - 5 级

标准测杆, 材质

Φ1.6mm 硬质合金

范围

标准

±400μm/±40μm/±4μm

追踪

±5mm

其他

带IN/OUT切换功能、测力切换功能(5级切换)、测杆角度指示

(±45o),Z轴方向冲击探测功能、带滑动式检出器(3姿势规格)

其他

气压

0.39MPa

空气消耗量 (标准状态)

45L/min (120L/min 以上气源)

重量

测量主体

650kg

670kg

防震台架

170kg