行程（mm）

100×100

外型尺寸（mm）

485×235×579

重量（kg）

30

承重（kg）

3

图像传感器

工业相机

镜头

双远心双倍率光学镜头

视野

φ100 / 20×20（mm）

检测精度

5 / 2μm

光栅尺

0.5μm Renishaw 光栅尺

显示单位

0.1（μm）

景深

24 / 1.4(mm)

Z轴有效行程

47 / 35(mm)

光源

轮廓光*

平行轮廓光（绿色LED）

表面光

程控式可升降2环4区白色LED冷光源多角度照明，各段独立控制，256级亮度可调

同轴光

选配，外置同轴光视野50×50mm

图像处理

TZTEK图像分析方法，256灰度等级，10:1亚像素处理技术

工作台升降范围

35（mm）

软件

Vispec软件平台（VMQ版）

工作环境

温度20°C±2°C，湿度30～80%

振动<>

电源

100~240V，50/60Hz，单相，100W