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MX61A 自动化半导体检查显微镜
产品特点:
• 具有能满足灵活应对特定检查需要的 Inspection-Engine 和高度解析需要的 Analysis-Engine 两个可选控制器（Dual-Engine） 。
通过两个控制器，根据半导体检查或解析的需要，轻松实现灵活的自动化及需要的扩展工作
MX61A详细规格:
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正光学系统） |
照明系统 | 反射照明系统（视野数26.5） 12V100W卤素灯（预定心型）明视野·暗视野分光镜＋一个分光镜组件 可用观察法 ①反射明视野②反射暗视野③反射微分干涉④反射简易偏光⑤反射荧光⑥反射IR⑦DUV观察 |
镜筒 | 超宽视野正象可倾斜式三目镜筒（视野数26.5）MX-SWETTR（光路分割比率100:0、0:100、倾斜角度0º-42º） U-SWETTR-5（光路分割比率100:0、20:80、倾斜角度0º-35º） 红外线用宽视野三目镜筒（视野数22）U-TR30IR近红外线观察时使用 |
电动换镜转盘 | 明·暗视野微分干涉六孔电动转盘: U-D6BDREMC 明·暗视野微分干涉五孔电动转盘: U-D5BDREMC |
控制器 | 作业组件MX-OPU61A 为内置控制软件的液晶触摸屏 可以进行显微镜的各种操作、观察条件设定 手动开关MX-HS61A 可以进行显微镜的各种操作（1JOG调焦旋钮＋14操作按钮）MX2-BSW 程序（为PC使用时）控制MX61A及周围电动组件的应用程序软件 OS(WindowsXP Professional)CPU(Pentium4, 2GHz以上)内存（512MB以上） |
载物台 | 带右手用同轴驱动旋钮14×12英寸（对应300mm晶圆）载物台MX-SIC1412R2 带右手用同轴驱动旋钮8×8英寸（对应200mm晶圆）载物台MX-SIC8R2 驱动方式: 滚轮引导式滑动带驱动（无架子） 离合机构: 2片离合板（由离合把手裹夹带子/解除方式） 行程: MX-SIC1412R2 横向356×竖向305mm MX-SIC8R 横向210×竖向210mm..电动载物台规格: 对应300mm/200mm晶圆 |
外形尺寸·质量 | 尺寸: 711（W）×853（D）×552（H）mm 质量: 约56kg（镜体: 约31kg） 300mm的标准栽物台搭载时的标准自动对焦规格 不含相机/选择组件 |
