补充说明
1、箱体尺寸：长度≥1220mm，宽度≥750mm，高度≥900mm，数量1个，玻璃视窗采用实芯O型密封圈（真空密封方式）法兰视窗结构，达到无泄漏，实芯O型圈直径不超过8mm，密封槽为方形凹槽，实芯密封圈安装方式为嵌入密封槽内安装，不接受单层或双层空芯密封圈粘贴在支撑面上的密封方式。2、PLC控制操作系统：数量：1套，可对设备进行远程监控、诊断、故障自动报警3、气体净化柱：数量：1套，净化材料可再生，且再生过程自动控制、自动除水除氧功能，H2O﹤1ppm ，O2﹤1ppm。4、气体纯度：水<1ppm，氧<1ppm。5、小时泄露率：≤9X10-6/h6、气体控制阀：数量1个，≥4芯不锈钢电磁集成阀座。7、真空泵：数量：1台，规格：≥8m3 /h，旋片泵，带油雾过滤器，气振控制。8、水分析仪：数量：1台，测量范围是0～500ppm，水探头可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了一次污染即报废的问题。9、氧分析仪：数量：1台，测量范围：0～1000ppm，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池，采用二氧化锆传感器，避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题。11、提供厂家售后服务承诺原件。12、手套箱密封性要求：焊接部分要求设备厂家需有无损探伤房，可进行无损探伤检测（保证箱体密封性）。