半导体洁净环境检测用0.1μm粒子计数器3950
应用范围
作为传感器嵌入到设备装置中
洁净室的清洁度管理
高清洁度区域的管理
半导体洁净环境检测用0.1μm粒子计数器3950
应用范围
作为传感器嵌入到设备装置中
洁净室的清洁度管理
高清洁度区域的管理
重视可视性，大画面，触摸屏显示器，可在附带软件上显示测试数据
双通道： 0.1μm 0.3μm
额定流量：2.83umin
通过实现超小型化设计，使粒子计数器嵌入装置设备成为可
0.1 um测量
4.3英寸彩色液晶
标配RS-485,Ethernet,USB
小型化！重量大幅度轻量化
以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中，
本产品通过压倒性的小型化，使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
半导体洁净环境检测用0.1μm粒子计数器3950
品 名 | 尘埃粒子计数器 | |
型 号 | 3950-00 | |
粒子测量 | 测试方法 | 光散射法 |
粒径通道 | 2粒径（0.1、0.3μm） | |
额定流量 | 0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) | |
测量时间 | 6秒~99分59秒（1次测量时间） | |
间隔时间 | 6秒~99分59秒（测量周期） | |
采样次数 | 1~999次 或 连续测试 | |
地点设定 | 99个地点 | |
测量方式 | 重复、单次、连续、计算 | |
测量数据显示时间 | 1~10秒 | |
测量数据显示 | 累计值∑ 差分值△及柱形图 | |
最大可测浓度 | 10,000,000个/m³ | |
计数效率 | 50±20%（相对于最小可测粒径附近的PSL粒子） | |
伪 计 数 | <1个/35min | |
粒径分辨率 | 15%以下（相对0.3μm的PSL粒子） | |
气 源 | 内置泵 | |
显示器 | 4.3英寸彩色液晶 触摸屏 | |
通迅功能 | 本 体 | USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接） |
数据存储 | 媒 体 | 内存 |
数量、格式 | 最大10,000个、CSV格式 | |
显示语言 | 英文、日语 | |
电 源 | AC100~240V | |
使用环境 | 本 体 | 15~35℃、0~85%RH （无结露） |
外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm | |
重 量 | 3.4kg | |
半导体洁净环境检测用0.1μm粒子计数器3950
