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半导体晶圆冷却装置维护保养要细节

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无锡市

无锡冠亚恒温制冷技术有限公司

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产品型号:AES-4535     厂商性质:生产厂家
江苏省无锡市锡山区翰林路55号
黄经理 查看联系方式
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产品简介

元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。半导体晶圆冷却装置维护保养要细节

产品详情

<strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong>

 型号AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
温度范围-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
温控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
温度转换时间-25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制控制出风口温度
可编程可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈T型温度传感器
压缩机法国泰康/艾默生
蒸发器套管式换热器
加热器法兰式桶状加热器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂冠亚混合制冷剂
外接保温软管方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
风冷型采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W带W型号为水冷型
水冷冷凝器板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
电源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展高温到 +300℃

 

<strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong>

半导体晶圆冷却装置维护保养要细节

半导体晶圆冷却装置维护保养要细节

  半导体晶圆冷却装置在长时间的使用过程中,也需要对半导体晶圆冷却装置进行必要的检查和维护保养,定期维护有利于半导体晶圆冷却装置制冷效率,同时也有利于延长寿命。

  1、检查并且校正半导体晶圆冷却装置温控器,确保温控器正常显示。

  2、检查半导体晶圆冷却装置的冷媒量,如果不够,需要及时补充冷媒。

  3、对半导体晶圆冷却装置的整个电控系统、主机电路系统做一次彻查,确保正常。

  4、试机运行并进行总校正,测试过热度是否正常,各个部件有无异常声音等。

  5、清洗半导体晶圆冷却装置的冷凝器/蒸发器,如果水质不是太差的话,建议累积运行半年清洗一次。半导体晶圆冷却装置在长时间运行当中,会有很多水杂质产生,会影响制冷效果以及使用寿命等。

  6、检查冷冻油及润滑油系统,如有污染建议对其进行更换,以利压缩机更加自如的运转。

  7、对半导体晶圆冷却装置压缩机马达线圈进行测试。

  8、检查并且校正半导体晶圆冷却装置的高、低压压力开关,确定高、低压压力在正常范围内。

9、检查干燥过滤器是否正常,有没有堵塞,必要时应予以更换全新的干燥过滤器。

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