VERITAS扫描电镜设备的操作界面设计简洁直观,使得即使是非专业用户也能快速上手。高度集成的控制系统和自动化功能减少了操作复杂性,提高了实验效率。
VERITAS扫描电镜秉承EM科特电子显微技术高分辨高效率的性能,内置CCD摄像机和导航功能可帮助用户轻松地找到理想区域。
VERITAS扫描电镜拥有大样品仓室,内含5轴多功能电动样品台,可轻松测量大尺寸的样品。并且VERITAS系列的样品仓可同时安装了多个样本,减少样品来回放置时因抽真空所使用的时间,从而达到快速分析测样的目的,有效地提高检测速度。
EM科特VERITAS扫描电镜拥有产品技术亮点:
l大尺寸样品分析 VERITAS系列可以分析常规SEM无法分析的大尺寸样品。例如:晶圆、磁盘
l无损样品分析 无需切割即可分析样品。例如PCB、半导体图案分析
l较重样品分析 能够分析较重样品。例如岩石、铁矿石
l快速样品分析 同时进行多个样品的分析,大大提高工作效率,节约成本
技术指标:
分辨率 | 2nm |
放大倍数 | x10-x300000 |
电子枪 | LaB6/CeB6 |
探测器 | 二次电子探测器、背散射探测器 |
真空系统 | 全自动真空系统(<90s) |
显示模式 | 聚焦模式 预览模式 |
自动功能 | 聚焦 |