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主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series

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广州市

广州市固润光电科技有限公司

产品型号:AVI-600     厂商性质:其他
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产品简介

主动式减震台 |主动式减振台-主动减震光学平台 AVI-600series 为大型型的主动隔振系统,是纳米技术大型仪器隔振的解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择,AVI-600 work station可自由选择整个系统的尺寸大小和配置,通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重(承重可至9000磅).广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI......

产品详情

产品描述:

AVI-600 series为紧凑型的主动隔振系统,是纳米技术大型仪器隔振的解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择,主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series可自由选择整个系统的尺寸大小和配置,通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重(承重可至9000磅)。

主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微隔振,以及半导体设备、大型、电子天平精密设备隔振。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震!

工作原理:

AVI系列主动隔振台采用的隔振技术,适用于任何科研环境下,该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动(包括水平方向和竖直方向),主动式减震台-主动式减振台-主动减震光学平台-herz avi 600series利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中,随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等,方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

产品特点:

  • 主动隔振频率1Hz – 200Hz
  • 被动隔振频率>200Hz
  • 5-20ms的响应时间
  • 安装简单,容易使用
  • 稳定性高,能连续使用多年
  • 紧凑、模块化的多功能设计
  • 控制器带数字LED显示屏

产品应用:

  • SEM
  • TEM
  • UHV-SPM
  • 光刻
  • 隧道显微镜
  • Fabry-Perot干涉仪
  • 大型对振动敏感的仪器设备

性能优势:

兼容性:

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数(负载能力:1200kg):

隔振实例:

固润光电针对高精密测试提供减震隔音消磁一体化解决方案,请根据链接了解我们的隔音箱和消磁器。

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