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说明
TTR 911 N THERMOVAC 系列真空变送器可提供从 5×10-5 到 1000 毫巴的较大测量范围，基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。
配备 RS232 数字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 数字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的变送器版本可设置变送器参数，并可提供实时压力测量结果。更多详情，请参阅通信协议 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配备集成式触屏显示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的变送器版本能够监控基本的变送器参数。更多详情，请参阅第 6.4 章。
TTR 911 N THERMOVAC 变送器用途广泛，可用作独立装置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 变送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外，每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。
变送器拥有多达三个机械继电器，这些继电器可用于过程控制，例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备，用于获取压力读数，或进行压力控制。
传感器技术
变送器具备单独的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器元件，元件测量基于热传导性。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状，空腔内无法进行对流，因此，传感器对安装位置并不敏感。通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。传感器元件极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入。
应用
变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:
· 一般真空压力测量
· 前级管道和粗抽压力测量
· 气体回填测量和控制
· 质谱仪控制
· 启动超高真空电离 (UHV) 规
· 系统过程控制
· 检测异常压力，利用继电器设定点采取妥当的安全措施
· 控制系统压力
P/N: 89656V02 和 230701V02 含有 Parylene-HT®涂层传感器。
Parylene-HT®是保形涂层，气体阻隔性，不释气。与标准 MEMS Pirani 相比，Parylene-HT®涂层传感器对各种腐蚀性气体的耐受性更强。涂层覆盖整个传感器芯片，包括接线。因此，暴露于处理气体的材料只有 Parylene-HT®涂层。 如需更多详情，请联系应用支持部门。
废弃处理
TTR 911 N 变送器是根据 RoHS (在电子电气设备中限制使用某些有害物质) 指令制造的。
技术数据
测量原理: 热传导性依据 MEMS Pirani 传感器而定
测量范围 (N2 和空气): 5×10-5 至 1000 毫巴
精确度(1) (N2): | 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: | 误差是读数的 | ±10% | |||||
1×10-3 至 100 毫巴: | 误差是读数的 | ±5% | ||||||
100 至 1000 毫巴: | 误差是读数的 | ±25% | ||||||
重复性(1) (N2): | 1×10-3 至 100 毫巴: | 误差是读数的 | ±2% | |||||
电源电压: | 9-30 伏直流 | |||||||
功耗: | < 1.2 瓦 | |||||||
熔丝 (热可恢复): | 200 毫安 | |||||||
模拟输出 (100 欧阻抗): | 0.61-10 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十进制 | |||||||
模拟输出分辨率: | 16 位 | |||||||
模拟输出更新率: | 16 赫兹 | |||||||
传感器故障，模拟输出: | 0.5 伏 | |||||||
材料暴露于真空(2): | ||||||||
P/N: 89654V02、89660V02、230700V02: | 304 号不锈钢、密封材料 FPM | |||||||
P/N: 89656V02、230701V02: | 304 号不锈钢、密封材料 FPM、Parylene-HT® | |||||||
机械设定点继电器: | ||||||||
P/N: 89660V02: | 3 | |||||||
P/N: 89654V02、89656V02: | 2 | |||||||
设定点继电器范围: | 2×10-4 至 1000 毫巴 | |||||||
设定点继电器触点额定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (电阻性负载) | |||||||
设定点继电器响应时间: | < 100 毫秒 | |||||||
设定点继电器触点电阻: | 100 毫欧 (值) | |||||||
设定点继电器触点耐久性: | 100000 循环 (最小值) (30 伏直流/1 安负载) | |||||||
设定点继电器触点耐久性: | 2000000 循环 (最小值) (30 伏直流/0.2 安负载) | |||||||
软件设定点继电器: | ||||||||
P/N: 230700V02、230701V02: | 2 | |||||||
数字接口循环时间 | 1 毫秒 | |||||||
内部容积: | KF16: | 2.80 厘米3 | ||||||
外壳材质: | 304 号不锈钢 | |||||||
重量: | ||||||||
P/N: 89654V02、89656V02: | 292 克 | |||||||
P/N: 89660V2: | 168 克 | |||||||
P/N: 230700V02、230701V02: | 338 克 | |||||||
允许压力: | 6 巴 | |||||||
运行温度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) | |||||||
烘烤温度 (电源关闭): | 85 °C (185 °F) | |||||||
灯丝温度: | 超过室温 35 °C | |||||||
异物防护等级: | IP40 | |||||||
泄漏速率: | < 5∙0-9 毫巴∙升/秒 | |||||||
(1) 精确度和重复性数值是零位调整后在室温氮气氛下测得的典型数值。 | ||||||||
(2) 如需暴露于处理气体的所有材料的完整列表，请联系LEYBOLD。 | ||||||||
Parylene-HT®是Specialty Coating Systems, Inc 的商标。 | ||||||||
配件和备件编号
零件 |
产品号 |
TTR 911 N，DN16 KF，Display，2SP | 89654V02 |
TTR 916 N C，DN16 KF，Display，2SP | 89656V02 |
TTR 911 N，DN16 KF，RS232 | 89660V02 |
TTR 911 N，DN16 KF，EtherCat | 230700V02 |
TTR 911 N C，DN16 KF，EtherCat | 230701V02 |
备用传感器 TTR 911 N/TTR 916 N，DN16 KF | 230650V02 |
备用传感器 TTR 911 N C/TTR 916 N C，DN16 KF | 230651V02 |
Display 1 | 230001 |
Display 2 | 230024 |
Display 3 | 230025 |
Graphix 1 | 230680V01 |
Graphix 2 | 230681V01 |
Graphix 3 | 230682V01 |
A 型电缆，5 米 | 12426 |
A 型电缆，10 米 | 230012 |
A 型电缆，15 米 | 12427 |
A 型电缆，20 米 | 12428 |
A 型电缆，30 米 | 12429 |
A 型电缆，50 米 | 12431 |
A 型电缆，75 米 | 12432 |
A 型电缆，100 米 | 12433 |
螺旋管 DN 16 ISO-KF | 230082 |
定心环 (1.4305 号不锈钢)，含 O 型环，DN16 KF | 88346 |
定心环 (不锈钢)，含烧结金属过滤器，DN16 KF | 88351 |
卡环 (铝)，DN16 KF | 18341 |
定心环，含细滤器 DN16 KF | 88396 |
更多信息请联系莱宝：安博元科技 info
