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THERMOVAC 变送器 真空计 TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC

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安博元科技无锡有限公司

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产品简介

说明nbsp;nbsp;TTR 911 N nbsp;THERMOVAC 系列真空变送器可提供从nbsp;5×10-5nbsp;到nbsp;1000 毫巴的较大测量范围,基于对nbsp;MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。nbsp;nbsp;配备nbsp;RS232 数字通信接口nbsp;(P/N: 89660V02) 或nbsp;EtherCAT 数字通信接口nb......

产品详情

说明

TTR 911 N THERMOVAC 系列真空变送器可提供从 5×10-5 1000 毫巴的较大测量范围,基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。

配备 RS232 数字通信接口 (P/N: 89660V02) EtherCAT 数字通信接口 (P/N: 230700V02230701V02) 的变送器版本可设置变送器参数,并可提供实时压力测量结果。更多详情,请参阅通信协议 300544663 (RS232) 300544664 (EtherCAT)。配备集成式触屏显示器 (P/N: 896540289656V029) 的变送器版本能够监控基本的变送器参数。更多详情,请参阅第 6.4 章。

TTR 911 N THERMOVAC 变送器用途广泛,可用作独立装置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01230681V01230682V01) Display 控制器 (P/N: 230001230024230025) 所有 THERMOVAC 变送器均可向下兼容 GraphixDisplay Center 控制器。

每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外,每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。

变送器拥有多达三个机械继电器,这些继电器可用于过程控制,例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备,用于获取压力读数,或进行压力控制。

传感器技术

变送器具备单独的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器元件,元件测量基于热传导性。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片,其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状,空腔内无法进行对流,因此,传感器对安装位置并不敏感。通过扩散,气体分子只到达热元件,在此处可测量气体的热损耗。传感器元件极为坚固耐用,可承受较高重力和瞬间空气涌入。

应用

变送器可用于众多不同领域的真空应用中,如:工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:

· 一般真空压力测量

· 前级管道和粗抽压力测量

· 气体回填测量和控制

· 质谱仪控制

· 启动超高真空电离 (UHV)

· 系统过程控制

· 检测异常压力,利用继电器设定点采取妥当的安全措施

· 控制系统压力

P/N: 89656V02 230701V02 含有 Parylene-HT®涂层传感器。

Parylene-HT®是保形涂层,气体阻隔性,不释气。与标准 MEMS Pirani 相比,Parylene-HT®涂层传感器对各种腐蚀性气体的耐受性更强。涂层覆盖整个传感器芯片,包括接线。因此,暴露于处理气体的材料只有 Parylene-HT®涂层。 如需更多详情,请联系应用支持部门。

废弃处理

TTR 911 N 变送器是根据 RoHS (在电子电气设备中限制使用某些有害物质) 指令制造的。


技术数据

测量原理: 热传导性依据 MEMS Pirani 传感器而定

测量范围 (N2 和空气): 5×10-5 1000 毫巴






精确度(1) (N2):

5×10-4 1x10-3 毫巴:

误差是读数的

±10%



1×10-3 100 毫巴:

误差是读数的

±5%



100 1000 毫巴:

误差是读数的

±25%



重复性(1) (N2):

1×10-3 100 毫巴:

误差是读数的

±2%



电源电压:

9-30 伏直流


功耗:

< 1.2


熔丝 (热可恢复):

200 毫安


模拟输出 (100 欧阻抗):

0.61-10 伏直流,Log. 1.286 伏直流/十进制


模拟输出分辨率:

16


模拟输出更新率:

16 赫兹


传感器故障,模拟输出:

0.5





材料暴露于真空(2):



P/N: 89654V0289660V02230700V02:

304 号不锈钢、密封材料 FPM


P/N: 89656V02230701V02:

304 号不锈钢、密封材料 FPMParylene-HT®





机械设定点继电器:



P/N: 89660V02:

3


P/N: 89654V0289656V02:

2





设定点继电器范围:

2×10-4 1000 毫巴


设定点继电器触点额定值:

1 /30 伏直流/交流 (电阻性负载)


设定点继电器响应时间:

< 100 毫秒


设定点继电器触点电阻:

100 毫欧 ()


设定点继电器触点耐久性:

100000 循环 (最小值) (30 伏直流/1 安负载)


设定点继电器触点耐久性:

2000000 循环 (最小值) (30 伏直流/0.2 安负载)





软件设定点继电器:



P/N: 230700V02230701V02:

2



数字接口循环时间

1 毫秒



内部容积:

KF16:

2.80 厘米3





外壳材质:

304 号不锈钢



重量:



P/N: 89654V0289656V02:

292


P/N: 89660V2:

168


P/N: 230700V02230701V02:

338



允许压力:

6


运行温度:

0 40 °C (32 104 °F)


烘烤温度 (电源关闭):

85 °C (185 °F)


灯丝温度:

超过室温 35 °C


异物防护等级:

IP40


泄漏速率:

< 50-9 毫巴/


(1) 精确度和重复性数值是零位调整后在室温氮气氛下测得的典型数值。

(2) 如需暴露于处理气体的所有材料的完整列表,请联系LEYBOLD


Parylene-HT®Specialty Coating Systems, Inc 的商标。


配件和备件编号


零件

产品号

TTR 911 NDN16 KFDisplay2SP

89654V02

TTR 916 N CDN16 KFDisplay2SP

89656V02

TTR 911 NDN16 KFRS232

89660V02

TTR 911 NDN16 KFEtherCat

230700V02

TTR 911 N CDN16 KFEtherCat

230701V02

备用传感器 TTR 911 N/TTR 916 NDN16 KF

230650V02

备用传感器 TTR 911 N C/TTR 916 N CDN16 KF

230651V02



Display 1

230001

Display 2

230024

Display 3

230025



Graphix 1

230680V01

Graphix 2

230681V01

Graphix 3

230682V01



A 型电缆,5

12426

A 型电缆,10

230012

A 型电缆,15

12427

A 型电缆,20

12428

A 型电缆,30

12429

A 型电缆,50

12431

A 型电缆,75

12432

A 型电缆,100

12433



螺旋管 DN 16 ISO-KF

230082



定心环 (1.4305 号不锈钢),含 O 型环,DN16 KF

88346

定心环 (不锈钢),含烧结金属过滤器,DN16 KF

88351

卡环 ()DN16 KF

18341

定心环,含细滤器 DN16 KF

88396

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