变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:

· 真空锁压力控制

· 一般真空压力测量

· 前级管道和粗抽压力测量

· 气体回填测量和控制

· 质谱仪控制

· 启动超高真空电离 (UHV) 规

· 系统过程控制

· 检测异常压力，利用设定点继电器采取妥当的安全措施

· 控制系统压力

技术数据

测量原理: 热传导性依据 MEMS Pirani 传感器而定

压电传感器中硅膜的机械偏转

P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02:

测量范围 (N2 和空气): 5×10-5 至 1500 毫巴

精确度 (1) (N2): 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 误差是读数的 ±10%

1×10-3 至 11 毫巴: 误差是读数的 ±5%

11 至 1333 毫巴: 误差是读数的 ±0.75%

1333 至 1500 毫巴: 误差是读数的 ±2%

重复性 (1) (N2): 1×10-3 至 11 毫巴: 误差是读数的 ±2%

11 至 1067 毫巴: 误差是读数的 ±0.2%

P/N: 230366V02、230702V02:

测量范围 (N2 和空气): 5×10-5 至 1500 毫巴

精确度 (1) (N2): MEMS Pirani: 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 误差是读数的 ±10%

1×10-3 至 100 毫巴: 误差是读数的 ±5%

100 至 1000 毫巴: 误差是读数的 ±25%

压电值: 0.1 至 10 毫巴: 误差是读数的 ±1% ±0.5 毫巴

10 至 1333 毫巴: 误差是读数的 ±0.75%

1333 至 1500 毫巴: 误差是读数的 ±2%

重复性 (1) (N2): MEMS Pirani: 1x10-3 至 100 毫巴: 误差是读数的 ±2%

压电值: 10 至 1067 毫巴: 误差是读数的 ±0.2%

电源电压: 9-30 伏直流

功耗: < 1.2 瓦

熔丝 (热可恢复): 200 毫安

模拟输出: 0.61-10.23 伏直流，Log 1.286 伏直流/十进制

模拟输出分辨率: 16 位

模拟输出阻抗: 100 欧

模拟输出更新率: 16 赫兹

传感器故障，模拟输出: 0 伏

机械设定点继电器:

P/N: 230350V02、230351V02、230354V02、230355V02: 0

P/N: 230352V02、230353V02、230356V02: 2

P/N: 230366V02: 3

设定点继电器范围: 2×10-4 至 1300 毫巴

设定点继电器触点额定值: 1 安/ 30 伏直流/交流 (电阻性负载) 设定点继电器响应时间: < 100 毫秒 设定点继电器触点电阻: 100 毫欧 (值) 设定点继电器触点耐久性: 100000 循环 (最小值) (30 伏直流/1 安负载)

设定点继电器触点耐久性: 2000000 循环 (最小值) (30 伏直流/0.2 安负载)

软件设定点继电器:

P/N: 230702V02: 2

响应时间: < 20 毫秒

数字接口循环时间: 1 毫秒

暴露在真空中的材料 (2): 304 号不锈钢，密封材料 FPM

内部容积: KF16 法兰 2.8 厘米3

NPT 1/8” 3.1 厘米3

外壳材质: 304 号不锈钢

法兰材质: 304 号不锈钢

重量:

P/N: 230350V02、230352V02、230366V02: 168 克

P/N: 230351V02、230353V023: 183 克

P/N: 230354V02、230356V02: 292 克

P/N: 230355V02: 307 克

P/N: 230702V02: 338 克

允许压力: 3 巴

运行温度: 0 至 40 °C (32 至 104 °F)

烘烤温度 (电源关闭): 85 °C (185 °F)

灯丝温度: 超过室温 35 °C

湿度: 0 – 95% 非冷凝

异物防护等级: IP40

泄漏速率: < 5∙10-9 毫巴∙升/秒

(1) 精确度和重复性是零位调整后在室温氮气氛下测得的典型数值。 (2) 如需暴露于处理气体的所有材料的完整列表，请联系 Leybold。