1、经济性高KLC改变了洁净棚的传统设计观念,迷你洁净单元采取模组化整合设计概念,此架构类似SMIF形式,有各种独立的洁净区,区别在于其传送方式不是以连接臂进行,而是以人员在密闭的洁净室外进行操作,有独立的空调和回风系统,此形式优点在于弹性间隔容易、建造成本低,相对传统土建式净化室,成本大大降低
1、经济性高
KLC改变了洁净棚的传统设计观念,迷你洁净单元采取模组化整合设计概念,此架构类似SMIF形式,有各种独立的洁净区,区别在于其传送方式不是以连接臂进行,而是以人员在密闭的洁净室外进行操作,有独立的空调和回风系统,此形式优点在于弹性间隔容易、建造成本低,相对传统土建式净化室,成本大大降低;