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0.1μm粒子计数器 半导体领域洁净室检测

参考价 订货量
168000 ≥1

具体成交价以合同协议为准

沈阳市

沈阳加野科学仪器有限公司

3
产品型号:     厂商性质:代理商
皇姑区黄河北大街56-39号 18840065038
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产品简介

半导体洁净环境检测用0.1μm粒子计数器3950
应用范围
作为传感器嵌入到设备装置中
洁净室的清洁度管理
高清洁度区域的管理

产品详情

半导体洁净环境检测0.1μm粒子计数器3950

应用范围

作为传感器嵌入到设备装置中

洁净室的清洁度管理

高清洁度区域的管理

0.1μm粒子计数器 半导体领域洁净室检测

重视可视性,大画面,触摸屏显示器,可在附带软件上显示测试数据

双通道: 0.1μm 0.3μm

额定流量:2.83umin

通过实现超小型化设计,使粒子计数器嵌入装置设备成为可

0.1 um测量

4.3英寸彩色液晶

标配RS-485,Ethernet,USB

小型化!重量大幅度轻量化

以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中,

本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。

半导体洁净环境检测0.1μm粒子计数器3950

   名

尘埃粒子计数器

   号

3950-00

粒子测量

测试方法

光散射法

粒径通道

2粒径(0.1、0.3μm)

额定流量

0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)

测量时间

6秒~99分59秒(1次测量时间)

间隔时间

6秒~99分59秒(测量周期)

采样次数

1~999次 或 连续测试

地点设定

99个地点

测量方式

重复、单次、连续、计算

测量数据显示时间

1~10秒

测量数据显示

累计值∑ 差分值△及柱形图

最大可测浓度

10,000,000个/m³

计数效率

50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子)
100±10%(相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)

计 数

<1个/35min

粒径分辨率

15%以下(相对0.3μm的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)

   源

内置泵

显示器

4.3英寸彩色液晶 触摸屏

通迅功能

   体

USB(Host用于打印机、USB存储;Device用于与PC链接)
Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)

数据存储

   体

内存

数量、格式

最大10,000个、CSV格式

显示语言

英文、日语

  源

AC100~240V

使用环境

   体

15~35℃、0~85%RH (无结露)

外形尺寸

W150 X H163 X D228 mm

   量

3.4kg





半导体洁净环境检测0.1μm粒子计数器3950





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