一、工作原理及结构特点：

罗茨螺杆真空机组是以ZJ型或ZJQ型气冷罗茨真空泵为主泵或中间泵，DSP(DVP)型螺杆干式真空泵为前级泵的真空获得设备，其结构紧凑，操作方便。真空机组除了主泵（及中间泵）和前级泵外，还包括连接管道、不锈钢波纹管、氮气密封吹扫装置、电磁充气阀、压力变送器、流量开关、温度变送器和电气控制箱，所有部件均集中安装在一个撬块上。具体见机组外形尺寸图。

罗茨真空泵为普通ZJ型罗茨真空泵或ZJQ型气冷罗茨真空泵，由于ZJ型或ZJQ型气冷罗茨真空泵须在系统被前级螺杆干式真空泵抽到罗茨真空泵允许起动压力后才可起动罗茨真空泵工作。因此，一般在机组进气口处须安装一个压力变送器，以此来控制罗茨真空泵的启动压力和工作压力范围。即当前级螺杆干式真空泵起动后开始对系统进行预抽,当系统压力即罗茨真空泵进气口压力变送器的设定压力值后，可以自动或手动开启罗茨真空泵工作。电气控制箱带有过载过热保护装置，真空泵一旦出现过载、过热、冷却水流量不够等状况时，都会发出故障报警及采取自动过载、过热停机保护措施。

本系列螺杆干式真空泵是本公司通过消化、吸收技术而创新开发的第三代节能型变螺距螺杆干式真空泵。该产品的特点为真空度高、振动低、噪声小、能耗小，在大气至300pa入口压力时的抽气效率高；由于特殊设计的变螺距螺杆转子型线，即使在很高的入口压力甚至在大气压下长期运行，也能保证螺杆干式真空泵具有可靠的工作性能，这是国内其它同类产品不具备的特性。由于本螺杆干式真空泵的诸多技术优势，从而保证了罗茨螺杆真空机组在大气压力至10pa入口压力具有良好的抽气效率。

二、罗茨螺杆真空机组主要技术参数：

上表中：中间泵采用气冷罗茨真空泵时电动机配用功率是按照不同工作真空度选配的。