基于工业机器人的小工具加工机床，利用小工具在元件表面高速旋动，实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头，确保抛光过程中材料去除函数稳定可控，从而实现超精密元件表面的高精度加工，配合全链路工艺、软件，实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。
基于工业机器人的小工具加工机床，利用小工具在元件表面高速旋动，实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。
利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头，确保抛光过程中材料去除函数稳定可控，从而实现超精密元件表面的高精度加工，配合全链路工艺、软件，实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。
超精密元件表面的高精度加工，配合全链路工艺、软件，实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。
1、基于工业机器人专用控制系统，实现高精度表面成型。
2、基于力控传感器的柔性抛光头设计，精确控制加工过程去除函数。
3、根据加工要求，开放式全链路加工工艺软件开发。
4、根据客户要求定制开发
优势
1、基于工业机器人专用控制系统，实现高精度表面成型。
2、基于力控传感器的柔性抛光头设计，精确控制加工过程去除函数。
3、根据加工要求，开放式全链路加工工艺软件开发。
4、根据客户要求定制开发
主要技术指标
| 项目 | 参数指标 |
| 可加工元件材料 | 熔石英、K9、微晶等光学元件；合金铝等金属元件 |
| 可加工元件尺寸 | ≥φ1000mm |
| 抛光工具转速 | 50-800RPM |
| 力传感器量程 | Fx/Fy：100N; Fz：200N |
| 力传感器精度 | 非线性和滞后优于0.5%，串扰优于2% |
| 力传感器分辨率 | Fx/Fy：0.09N; Fz：0.33N |
| 工具轴运动范围 | 1：±180° 2：-90°至+150° 3：-180°至+75° 4：-400°至+400° 5：-125°至+120° 6：-400°至+400° |
| 工具轴运动速度 | 1-6轴均为175°/s |
| 重复定位精度 | 0.06mm |
| 面积需求 | 3.5m×3.5m×3m |
| 温度要求 | 22±0.5℃ |
| 湿度要求 | 40%-80% RH |
