山东洁净厂房单向流与非单流的建设要求

气流流型的确定应充分考虑的因素有：满足空气洁净度等级要求、一次建设投资、运行维护费、空气过滤器等更换方便等。洁净室内气流流型的设计要求，是基于数十年电子工厂洁净厂房工作实践的经验总结，并结合气流流型的实际状况制定的。对洁净室气流流型的图示。

洁净厂房单向流与非单流的建设要求，电子工业洁净厂房的气流流型，空气洁净度等级为1-5级时，基本上采用单向流或混合流；空气洁净度等级为6-9级时，基本上采用非单向流，且混合流流型可应用于所有各种空气洁净度等级的洁净室。

洁净室的送风量是保证空气洁净度等级的送风量，洁净厂房内洁净区的空气洁净度等级为5级或6级，气流流型为非单向流，洁净生产区送风一般选用FFU，吊顶上FFU的满布率为25%左右，微环境内的空气洁净度等级为2-4级。单向流洁净室的平均风速下限值，在自动化、机械化程度很高的洁净室内基本无人的情况下，有的洁净室仅采用0.11m/S。

电子工业洁净厂房中的净化空调系统的主要形式为集中式和分散式，净化空调系统的典型各种形式各具特点和适用性，在实际应用中，应根据具体工程项目的接室规模、空气洁净度等级和电子产品生产工艺特点及其要求确定，同时考虑运行经济和降低能量消耗。三个系统各有利弊，其选择主要与电子产品生产工艺、能量消耗、建设投资等有关，有时也与业主的意愿有关，但今年来在集成电路洁净厂房中，采用FFU系统日益增多。