产品特点：1.采用自动控制界面和触摸屏人机界面，操作方便2.的型腔设计，清洗均匀性好，清洗质量高3.它采用两层结构，每层4-6个料盒，结合化学反应性和物理冲击，清洗周期短，效率高4.等离子清洗具有重复性高，可控性强、利用率高、无污染、运行成本低等特点5.该系统结构简单、占地面积小、效率高、操作、维护方便、速度快、运行稳定等优点
产品特点：
1.采用自动控制界面和触摸屏人机界面，操作方便
2.的型腔设计，清洗均匀性好，清洗质量高
3.它采用两层结构，每层4-6个料盒，结合化学反应性和物理冲击，清洗周期短，效率高
4.等离子清洗具有重复性高，可控性强、利用率高、无污染、运行成本低等特点
5.该系统结构简单、占地面积小、效率高、操作、维护方便、速度快、运行稳定等优点。
6.D/A前，会增加引线框架或基板的表面湿润能力，使其结合的更加精密牢固。
技术参数:
序号 | 型号 | AS-V100 |
1 | 设备外形尺寸 | 长×深×高＝1200mm×800mm×1750mm |
2 | 真空腔体尺寸 | 长×深×高＝450mm×450mm×610mm |
3 | 电源频率 | 13.56MHz |
4 | 电源功率 | 1Kw |
5 | 电极板规格 | 非标定制 |
6 | 软件控制 | PLC触摸屏 |
7 | 气体纯度要求 | 工业级气体或更好 |
8 | 可加载气体 | O₂，N₂，Ar |
