螺杆干式真空泵是通过泵腔内一对作等速反向旋转螺杆的啮合作用，完成从吸入气体、压缩气体到排出气体而形成高真空过程
螺杆干式真空泵是通过泵腔内一对作等速反向旋转螺杆的啮合作用，完成从吸入气体、压缩气体到排出气体而形成高真空过程。即两个旋向相反的非接触螺杆型转子在泵腔内做等速反向旋转。当螺杆旋转时，在螺杆真空泵的进口处吸入一定体积量的气体，气体被压缩并输送到真空泵的排出口处被排出。由于泵的二个螺杆之间以及螺杆与泵腔之间均无接触，泵腔内不需要润滑油。用于润滑齿轮和轴封的润滑油通过轴封与泵腔密封。泵的冷却可以通过循环冷却水直接冷却或者通过带有风扇及散热器的冷却装置进行冷却。
螺杆转子采用多段变螺距结构设计，极限真空可达1Pa以下，可以满足从大气到高真空的各类真空处理
变螺距螺杆真空泵规格参数
注意 ：
表中提供的螺杆干式真空泵的冷却水量是使用20℃常温水的量。当螺杆干式真空泵使用后置冷却装置时冷却水量会有所增加，进出水温度差一般控制在7℃以下为宜。
